三坐标测量机（Coordinate Measuring Machine, CMM）是一种在三维可测空间范围内，通过测头系统返回的点数据，利用软件系统计算几何形状、尺寸等测量能力的仪器。为了确保三坐标测量机测量的准确性，需定期进行校准。以下是设备的校准方法：
　　一、日常校准简单校准
　　1.检查测头
　　-目视检查测头宝石球是否有磨损、划伤或污染。若有污染，需用干净的软布轻轻擦拭干净；若有磨损或划伤，可能需要更换测头。
　　-检查测头与测杆的连接是否牢固，确保测量时不会出现松动现象。
　　2.校验测针长度和直径
　　-使用标准球对测针长度和直径进行校验。将标准球放置在测量平台上，用测针触碰标准球表面，测量机软件会计算出测针的长度和直径，并与标称值进行对比。若偏差超出允许范围，需对测针进行重新标定或更换。
　　3.检查机器零点
　　-在测量机软件中查看机器零点的位置是否准确。若零点发生偏移，需要重新设置零点。一般通过移动测量轴，使测头回到机器的机械零点位置，然后在软件中进行零点校准操作。
　　二、定期校准全面校准
　　1.使用标准球进行校准
　　-将标准球放置在测量机的工作台上，确保其位置稳定。
　　-用测头在标准球表面均匀地采集多个点一般不少于5个点，测量机软件会根据采集的点计算出标准球的直径，并与标准球的标称直径进行对比。
　　-根据对比结果，对测量机的精度进行调整。若偏差较大，可能需要调整测量机的参数或检查硬件部件。
　　2.使用激光干涉仪校准
　　激光干涉仪是一种高精度的校准设备，可用于校准三坐标测量机的各轴运动精度。将激光干涉仪与测量机的各轴运动系统连接，按照激光干涉仪的操作手册进行设置和测量。
　　激光干涉仪会测量出各轴在运动过程中的实际位移，并与测量机控制系统所显示的位移进行对比，得出各轴的定位精度、重复定位精度等指标。
　　根据测量结果，对测量机的导轨、丝杆、联轴器等部件进行调整和维修，以提高各轴的运动精度。
　　三坐标测量机的精度受温度影响较大，因此需要定期检查温度补偿系统的准确性。使用高精度温度计测量测量机工作环境的温度，并与测量机温度传感器所测量的温度进行对比。
　　若两者存在偏差，需要对温度传感器进行校准或调整温度补偿系数。同时，确保测量机的温度控制系统正常工作，能够保持工作环境温度的稳定。
　　三、专业校准年度校准或维修后校准
　　1.一般由专业的计量校准机构或三坐标测量机制造商的售后服务人员进行。他们会使用更精密的校准设备和专业的校准方法，对测量机进行全面、系统的校准和精度检测。
　　2.校准内容包括但不限于：测量机的几何精度如各轴的垂直度、平行度等、测量精度如空间尺寸测量精度、形位公差测量精度等、探测系统精度等。
　　3.校准完成后，会出具详细的校准报告，记录测量机的各项精度指标和校准结果。若发现测量机存在精度问题，校准人员会根据具体情况进行调整、维修或更换部件，以确保测量机达到规定的精度要求。
　　总之，在进行三坐标测量机精度校准时，应严格按照测量机的操作手册和校准规范进行操作，确保校准结果的准确性和可靠性。同时，定期校准和日常维护相结合，能够有效保持三坐标测量机的精度，延长其使用寿命。