往复式真空泵(又称活塞式真空泵)是干式真空泵；它是依靠汽缸内的活塞作往复运动来吸入和排出气体的。
　　往复式真空泵的检修与往复式压缩机大同小异。
　　往复式真空泵是一种干式真空泵，所以操作时必须采取有效措施。以防所抽吸气体，带有液体，否则可能会造成严重的设备事故。
　　往复式真空泵开车后，应逐渐关闭三通阀门，使泵的进气管与被抽容器逐渐接通：当泵达到极限真空时，检查电机电流负荷应稳定。泵在正常运转中，各部位都应得到必要的良好润滑；冷却水的进出口温差约为50C，最高水温不超过400C.泵停车时，应先关闭进气阀门，切断电源；关闭油杯针阀，停车10min后关闭冷却水；当室温低于0℃时，必须放净冷却水，以免冻坏汽缸。要经常检查V带的松紧程度和冷却水是否有渗漏，如有异常应及时处理。检查轴承、偏心圈、十字头等部位，如有过热或严重磨损等，应及时进行检修。检查活塞杆、气阀杆的密封圈，如有泄漏应及时更换。
　　曲轴箱内的润滑油。冬天应用40号机械油，夏天应用60号机械油。冬天用13号低压压缩机油，夏天用19号高压压缩机油；曲轴箱内的润滑油应达到油窗上指示的刻度，油杯应调整好针阀，使润滑油一滴一滴地注人汽缸中。在泵每运转1000^- 1500h之后，应更换曲轴箱中的润滑油。但第一次使用100h后，曲轴箱中的润滑油应更换新油。运转1000--15001、后。应将泵拆开清洗检查；检A汽缸内壁与活塞环、十字头与滑轨、偏心轮一与偏心圈、轴颈与轴承等各摩擦部位，若发现有磨损等缺陷应立即修复。泵在运行2500h后应进行大修，经解体清洗、检修后重新装配。