全自动镀层测厚仪（通常基于X射线荧光法，XRF）是一种高精度、非破坏性测量金属或非金属基材上镀层厚度及成分的分析仪器。为确保其长期稳定运行和测量准确性，需进行规范的维护与保养。以下是全自动镀层测厚仪的关键维护保养方法：
　　一、日常维护
　　1.保持环境清洁干燥
　　工作环境温度：15–30°C，湿度：≤70%RH（无冷凝）；
　　远离粉尘、腐蚀性气体、强振动和强电磁干扰源。
　　2.样品台清洁
　　每次测试后用无尘布或镜头纸擦拭样品台，防止残留碎屑影响定位或测量；
　　禁止使用有机溶剂（如丙酮、酒精）直接擦拭光学窗口或探测器窗口。
　　3.防护窗口检查
　　定期检查X射线出口处的铍窗（Be window）或聚合物膜是否破损、污染；
　　若有灰尘，用洗耳球轻轻吹净，严禁擦拭或触碰。
　　4.样品规范放置
　　测试前确保样品表面清洁、平整、无油污；
　　避免尖锐、带磁性或强反射样品损伤自动平台或干扰测量。
　　二、定期保养（建议每月或每500小时）
　　1.光路与准直器清洁（由专业人员操作）
　　X射线光路内部不可自行拆卸；
　　若怀疑污染，联系厂家工程师使用专用工具清理。
　　2.自动平台润滑与校准
　　检查XYZ自动移动平台是否运行平稳、无异响；
　　必要时由技术人员添加微量精密导轨润滑脂，并进行位置复位校准。
　　3.真空/氦气系统维护（如配备）
　　对轻元素（如Cr、Ni、Zn等薄层或低Z元素）测量需真空或氦气环境；
　　定期检查真空泵油位与颜色，及时更换；
　　氦气管路检漏，确保密封性。
　　三、核心部件保护
　　1.X射线管寿命管理
　　避免频繁开关机（建议短时待机而非关机）；
　　长时间不用时，按说明书执行“休眠”或“老化”程序；
　　记录使用时间，接近寿命终点（通常2万–4万小时）时提前准备更换。
　　2.探测器维护
　　Si-PIN或SDD探测器需保持低温（内置Peltier制冷）；
　　确保散热风扇正常运转，通风口无堵塞。
　　四、校准与验证
　　1.定期标准片校准
　　每日或每周使用认证的标准镀层样块（如Au/Ni/Cu、Sn/Cu等）进行重复性与准确性验证；
　　若偏差超限，执行仪器软件中的“校准”或“标准化”程序。
　　2.软件与数据备份
　　定期备份测量程序、校准曲线和用户数据；
　　及时安装厂家提供的固件或软件更新（提升稳定性或新增功能）。
　　五、安全注意事项
　　1.严禁擅自打开X射线屏蔽罩：设备带有辐射联锁装置，非法开启将导致停机或辐射风险；
　　2.张贴辐射警示标识，操作人员应接受辐射安全培训；
　　3.设备报废或维修时，须由具备资质的单位处理X射线管。