1、日维护
　　每班12小时维护检查氢气供给、供电是否正常，检查氩气排出系统是否畅通。清理火花台，每2小时校验标样，做好标准化，检查激发斑点的好坏。光谱仪使用的电极是钨棒电极，钨棒电极在激发金属材料的试样时，在火花台内容易产生黑色沉淀物，而这种沉淀物可导致电极与火花台之间短路，因此要对火花台和电极进行清理，每激发一个试样前须用软纸擦净火花台,再用电极刷擦净电极，每次分析之后再次清理电极。清理时注意电极刷不要损伤分析架和分析孔的边缘。定时检查电极，如果电极头变圆，或电极断裂，就必须更换。更换时拧紧螺钉，电极自动抬高，然后可以用手指或钳子将它取出。电极的调整可以用一个3mm间隙的量规来进行：用一只手按住量规，把电极往圆筒体内推，然后拧紧螺丝。每班要用干净抹布擦净仪器外壳,用吸尘器清理净火花台面和废氩排出口的尘物,及时打扫机房内卫生。
　　2、周维护
　　电极与样品的放电在火花室内发生，因放电燃烧样品材料，留下灰尘样的黑色沉积物。必须定期清理火花室,清理火花台前,先关闭光源。然后拧下火花台前的电极定位螺杆,卸下火花台板,小心取出火花室内圆石英垫片,再用吸尘器清理火花室的黑色沉积物.
　　清理火花室内部后,安装火花台板时要用中心距定好中心,再拧紧固定螺丝,然后用电极定距螺杆调整好电极距。将所有部件放回原位置，并将样品放到火花架上盖住分析孔。注意事项：
　　（1）检查一下分析支撑块的O形密封圈是否放回原位；
　　（2）是否正确地把支撑架的前部插在入射能道的端部附近；
　　（3）拧紧分析架的螺丝，不需太用力，否则说明这些部件中某一件位置不对；
　　（4）用随仪器提供的量规检查电极高度调整量。正常拧紧夹紧螺丝，不要用力。
　　（5）用一样品盖住分析孔。