方块电阻测试仪（通常指四探针法）的工作原理核心在于“恒流源激励”与“高阻抗电压检测分离”，从而消除接触电阻对测量结果的影响。方块电阻测试仪的具体工作流程如下：
　　1.恒流注入（外侧两针）：
　　仪器通过最外侧的两根探针向被测样品表面注入一个已知数值的恒定直流电流(I)。该电流在样品内部形成电场分布。
　　2.电位差采集（内侧两针）：
　　仪器通过中间的两根探针测量样品表面的电势差(V)。由于电压测量端连接的是高输入阻抗的电压表，流过这两根探针的电流几乎为零（趋近于0）。根据欧姆定律(V=IR)，此时探针与样品接触点产生的接触电阻上几乎没有压降，因此测得的电压V纯粹反映样品内部的真实电势差，完全排除了接触电阻和导线电阻的干扰。
　　3.计算推导：
　　仪器内部微处理器根据测得的电压V和已知的电流I，利用公式R=V/I计算出等效电阻。随后，结合探针的几何排列间距（通常为等间距直线排列）以及样品的尺寸、厚度等几何修正系数，计算出方块电阻(R□)。
　　基础公式：R□=k×(V/I)
　　k为几何修正因子（对于无限大薄层且等距四探针，k≈4.532）。
　　若需计算体电阻率ρ，则进一步乘以膜厚t：ρ=R□×t。
　　简而言之，其原理是通过四根探针分工协作（两根通电流、两根测电压），将电流路径与电压采样路径物理隔离，从而实现对薄膜材料表面方块电阻的高精度无损测量。