振动传感器的工作原理是将机械振动（如位移、速度或加速度）转换为可测量的电信号，从而实现对设备运行状态、结构健康或环境振动的监测。根据所测物理量和传感机制的不同，振动传感器主要分为位移型、速度型和加速度型三大类，其中加速度传感器（加速度计）应用最为广泛。具体如下：
　　1.压电式加速度传感器（最常见）
　　这是工业中最主流的振动传感器类型，基于压电效应工作。
　　原理：某些晶体材料（如石英、锆钛酸铅PZT）在受到机械应力时，会在其表面产生与作用力成正比的电荷。
　　结构：传感器内部有一个质量块（称为“seismic mass”）压在压电元件上。当传感器随被测物体振动时，质量块因惯性对压电材料施加交变力，从而产生电荷输出。
　　输出信号：电荷量或电压信号，与振动加速度成正比。
　　特点：
　　频率响应宽（通常0.5 Hz～30 kHz）；
　　灵敏度高、体积小、坚固耐用；
　　无需外部电源（但需配合电荷放大器或ICP供电）；
　　不适合测量静态或极低频振动（因电荷会泄漏）。
　　注：ICP（Integrated Circuit Piezoelectric）型加速度计内置放大电路，需恒流源供电（如2–10 mA），输出为低阻抗电压信号，便于长距离传输。
　　2.磁电式速度传感器（动圈式）
　　这类传感器直接输出与振动速度成正比的电压信号，常用于大型旋转机械（如汽轮机、风机）的低频振动监测。
　　原理：基于电磁感应定律（法拉第定律）。
　　结构：内部有一个永久磁铁和可移动的线圈。当传感器外壳随设备振动时，磁铁与线圈发生相对运动，线圈切割磁力线，产生感应电动势。
　　输出信号：电压（mV），与振动速度（mm/s）成正比。
　　特点：
　　无需外部电源（自发电）；
　　对低频振动（5 Hz～1 kHz）响应良好；
　　体积较大、重量较重；
　　不适用于高频或冲击测量。
　　3.电涡流位移传感器
　　主要用于测量轴的径向位移、轴向窜动或轴承间隙，常见于汽轮机、压缩机等精密旋转设备的状态监测。
　　原理：利用高频电磁场与导体之间的相互作用。
　　结构：探头内含线圈，通以高频电流（如1 MHz），在前方产生交变磁场。当金属靶面靠近时，表面产生电涡流，反过来改变线圈的阻抗。
　　输出信号：电压或电流，与探头到金属表面的距离（位移）成线性关系。
　　特点：
　　非接触测量，无磨损；
　　分辨率可达微米级；
　　仅适用于导电材料；
　　安装需严格控制间隙（通常0.5–2 mm）。
　　4.MEMS（微机电系统）加速度传感器
　　基于半导体工艺制造，广泛应用于消费电子、汽车和物联网设备。
　　原理：通过检测微小质量块在加速度作用下的位移，引起电容、电阻或谐振频率变化。
　　常见类型：电容式MEMS最普遍——质量块作为可动电极，振动导致电容变化，经电路转换为电压输出。
　　特点：
　　体积小、成本低、功耗低；
　　可测静态加速度（如重力方向）；
　　频响范围较窄（通常＜5 kHz），噪声较高；
　　适合低频振动、倾角、冲击检测，但精度一般低于压电式。
　　5.光纤振动传感器
　　利用光信号在光纤中传播时受外界振动调制的特性进行测量。
　　原理：振动引起光纤长度或折射率变化，导致光相位、强度或波长改变（如基于干涉仪或光纤光栅FBG）。
　　特点：
　　抗电磁干扰、本质安全（无电火花）；
　　适用于强电磁、易燃易爆、高温等恶劣环境；
　　可实现分布式长距离监测（如管道、桥梁）；
　　成本高，系统复杂。
　　振动传感器通常需配合数据采集系统、滤波器和分析软件（如FFT频谱分析），才能有效用于故障诊断（如轴承损坏、齿轮断齿、不平衡、不对中等）。正确理解其工作原理，是合理选型和准确解读数据的基础。