ICP质谱仪是一种高度灵敏的分析技术，用于检测和定量分析液体样品中的微量至痕量元素。它结合了电感耦合等离子体（ICP）作为离子源和质谱仪（MS）作为检测器，能够对大多数元素进行ppb（十亿分之一）甚至ppt（万亿分之一）级别的检测。ICP质谱仪的工作原理具体如下：
　　1.样品引入与雾化
　　样品通常以溶液形式被引入系统中。通过蠕动泵或自动进样器将样品送入雾化器，在这里样品被转化为细小的气溶胶颗粒。
　　2.电感耦合等离子体（ICP）
　　这些气溶胶颗粒随后进入由高频电磁场产生的高温（约7000K）氩气等离子体中。在如此高的温度下，样品中的所有分子几乎完全分解为原子，并进一步电离成正离子。由于电子热运动能量远高于电离能，因此可以获得很高的电离效率。
　　3.质量过滤
　　经过电离后的离子束随后进入质谱仪部分。在这里，首先通过一个接口（如锥孔）将离子从高真空环境下的ICP中提取出来。
　　接着，这些离子会经过一系列聚焦和筛选过程，最终到达质量分析器。常见的质量分析器类型包括四极杆、飞行时间（TOF）、扇形磁场等。它们根据离子的质量/电荷比（m/z）来分离不同种类的离子。
　　4.检测与定量
　　分离后的离子被探测器捕捉并转换为电信号。基于每个特定m/z值对应的信号强度，可以确定样品中存在的元素种类及其浓度。
　　为了准确量化，通常需要使用已知浓度的标准溶液建立校准曲线。