等离子清洗机的工作原理是通过高频电场或射频电源将气体分子电离成等离子体，等离子体中的活性粒子与待处理物体表面发生物理或化学反应，从而达到清洁、活化或改性的目的。具体过程如下：
　　1.气体放电
　　将待处理的物体放置在一个封闭的反应腔内，并注入一种或几种工艺气体（如氩气、氧气、氮气等）。通过施加射频（RF）能量或直流电压，在低气压环境中产生电场，导致气体分子电离，形成等离子体。
　　2.活性粒子生成
　　在电场的作用下，气体分子分解为带正电的离子、带负电的电子以及其他活性粒子，如自由基和离子团。这些活性粒子具有高度的化学反应活性。
　　3.表面反应
　　等离子体中的活性粒子与待处理物体表面的污染物（如有机物、氧化层、颗粒等）发生化学反应，或者通过物理撞击的方式将污染物剥离。这些反应可以分解有机污染物，氧化或还原无机污染物，从而达到清洁表面的目的。
　　4.排气与终止
　　处理完成后，关闭能量源，停止等离子体的产生，剩余的气体和反应产物通过真空泵抽出，反应腔恢复到大气压，完成整个清洗过程。
　　等离子清洗机的应用领域包括汽车行业、医疗行业、新能源行业和电子行业等。在汽车行业中，用于点火线圈骨架表面活化、汽车门窗密封件的处理等；在医疗行业中，用于培养皿表面活化、医疗导管粘接前处理等；在新能源行业中，用于电池电芯的表面处理；在电子行业中，用于芯片表面处理、封装前的预处理等。