X荧光光谱仪（XRF）由激发源（X射线管）和探测系统构成。X射线管产生入射X射线（一次X射线），激发被测样品，产生X荧光（二次X射线），探测器对X荧光进行检测。
　　X荧光光谱仪的组成部分：
　　1、光源
　　激发元素产生特征X射线的机理是必须使原子内层电子轨道产生电子空位，从而对样品进行光谱分析检测。X荧光光谱仪中激发样品的光源主要包括有：具有各种功率的X射线管、放射性同位素激发源、电子或质子激发源、同步辐射光源。其中X射线管又分为侧窗、端窗、透射靶和复合靶。
　　2、高压发生器
　　X荧光光谱仪通常采用谐波调制电路来作为高压发生器，在检测的时候，通过高压触发可控硅使之形成方波交流电源，经过变压器件变压之后再将其整流为高压直流电源供X光管使用。
　　3、探测器
　　探测器能够将X射线荧光光量子转变成为一定形状和数量的电脉冲，表征X射线荧光的能量和强度。在所X荧光光谱仪测量的能量范围内具有较高的探测效率，而且输出信号非常容易处理。
　　4、闪烁计数器
　　X荧光光谱仪的闪烁计数器是由闪烁体、光导、光电倍增管及相关电路共同组成，入射的Z射线与闪烁体作用使之发光，光子经光导进入光电倍增管电阴极并产生光电子，光电子在点位不同的各个再生级之间加速并产生倍增，能够形成较强的电脉冲讯号。