真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类;

    包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

    电控柜操作

    1.开水泵、气源。

    2.开总电源。

    3.开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。

    4.开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。

    5.观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。

    机器操作

    1.总电源。

    2.同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：

    按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。

    3.开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。

    关机顺序

    1.关高真空表头、关分子泵。

    2.待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。

    3.到50以下时，再关维持泵。