X射线荧光光谱仪具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。能分析B(5)～U(92)之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果准确度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。薄膜分析软件FP-MULT1能作镀层分析，薄膜分析。测量样品的最大尺寸要求为直径51mm，高40mm。

　　早期的台式荧光光谱仪使用液氮（LN）致冷探测器Si（Li）LN，每次使用要消耗液氮，也不方便。电致冷硅漂探测器SiPIN出现后，就成为侧RoHS光谱仪探测器的主流。液氮致冷灵敏度较容易达到要求，成本比电致冷的稍微低点，所以现在个别品牌还有液氮的。但现有的电致型都能达到RoHS要求，且有的品牌用Si（Li）PCD电致冷探测器几乎达到的ppb级水平。实际上，在有RoHS之前早就有X射线荧光光谱仪，测RoHS的要求相对来说要求并不太高，所以就派上用场了。

　　以上两种探测器对测轻元素的灵敏度都不理想（所以美国NITON便携式荧光光谱仪不能测铝等轻元素）。出现了SDD电致冷探测器，提高了对轻金属元素的灵敏度，还能测硅等非金属元素，但价格相对来说又贵了许多。