自动椭圆偏振测厚仪特点
发布时间：2015/7/6 10:02:00自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪 型号：TP-TPY-2
产品特点：仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长高。仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。 规格与主要技术指标：测量范围：薄膜厚度范围1nm-4000nm 折射率范围：1-10 测量示值：≤1nm 入射角：20°- 90°≤0.05°度盘刻度：每格1度 允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm偏振器步进角：0.014°/步 偏振器方位角范围：0°- 180° 测量膜厚和折射率重复性分别为：0.5nm和0.005仪器测量：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时）光学中心高度：80mm 成套性：主机、电控系统、USB接口、配套软件（需配计算机）主机重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm装箱单
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序号 |
名 称 |
规格或型号 |
数量 |
备 注 |
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1 |
自动椭圆偏振测厚仪主机 |
TP-TPY-2 |
1台 |
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2 |
主机电控箱 |
TP-TPY-2 |
1台 |
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3 |
Q9连接线 |
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1根 |
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4 |
数据连接线 |
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1根 |
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5 |
电源线 |
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2根 |
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6 |
15线连接电缆 |
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1根 |
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7 |
USB连接电缆 |
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1根 |
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8 |
二氧化硅膜样片 |
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1张 |
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９ |
软件安装盘 |
TP-TPY-2 |
1张 |
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10 |
使用说明书 |
TP-TPY-2 |
1份 |
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11 |
装箱单 |
TP-TPY-2 |
1份 |
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12 |
产品合格证 |
TP-TPY-2 |
1份 |