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多功能数字式四探针测试仪技术规格
发布时间：2014/11/20 10:13:00多功能数字式四探针测试仪/数字式四探针测试仪/四探针电阻率测试仪 型号：HAD-ST2258A
概述 HAD-ST2258A型多功能数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置，它可以测量片状、块状半导体材料的电阻率，扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。 本测试仪特赠设测试结果分类功能，分类10类 仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入；具有零位、满度自校功能；自动转换量程；测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成，故定位准确、游移率小、寿命长；测试结果由数字表头直接显示。基本技术参数1. 测量范围、分辨率电 阻： 1.0×10-3 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω电 阻 率： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω-cm方块电阻： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω/□ 分辨率1.0×10-3 ～ 0.1×103 Ω/□ 2. 可测半导体材料尺寸直 径： 测试台直接测试方式 Φ15～130mm，其他方式不限.长（或高）度： 测试台直接测试方式 H≤160mm, 其他方式不限.3. 量程划分及误差等级
| 量程 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 |
| kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | |||||
| 误差 | ±0.5%FSB±1LSB（在各量程范围内），超量程或欠量程可测量，但误差将随超欠程度而变大 | ||||||