激光干涉仪的应用

发布时间:2017/8/30 13:59:00

    (1)几何检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。

    (2)位置的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位、重复定位、微量位移等。利用雷尼绍ML10激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差,而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿,比通常的补偿方法节省了大量时间,并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差,同时可限度地选用被测轴上的补偿点数,使机床达到,另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。

    (3)数控转台分度的检测及其自动补偿 现在,利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置,以任意角度间隔进行全自动测量,其达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不仅节约了大量的测量时间,而且还得到完整的回转轴曲线,知晓其的每一细节,并给出按相关标准处理的统计结果。

    (4)双轴定位的检测及其自动补偿 雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床,由双伺服驱动某一轴向运动的定位,而且还能通过RS232接口,自动对两轴线性误差分别进行补偿。

    (5)数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态特性测量与评估软件,可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析(FFT),滚珠丝杠的动态特性分析,伺服驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性(低速爬行)分析等。