集成电路测试仪发展过程

发布时间:2017/8/26 10:36:00

    集成电路测试仪的发展过程可以粗略地分为四个时代。

    代始于1965年,测试对象是小规模集成电路,可测管脚数达16只。用导线连接、拨动开关、按钮插件、数字开关或二极管矩阵等方法,编制自动测试序列,仅仅测量IC外部管脚的直流参数。

    第二代始于1969年,此时计算机的发展已达到适用于控制测试仪的程度,测试对象扩展到中规模集成电路,可测管脚数24个,不但能测试IC的直流参数,还可用低速图形测试IC的逻辑功能。这是一个飞跃。

    第三代始于1972年,这时的测量对象扩展到大规模集成电路(LSI),可测管脚数达60个,最突出的进步是把功能测试图形速率提高到10MHz。从1975年开始,测试对象为大规模、超大规模集成电路(LSI/VLSI),可测管脚剧增到128个,功能测试图形速率提高到20MHz。不但能有效地测量CMOS电路,也能有效地测量TTL、ECL电路。此时作为独立发展的半导体自动测试设备,无论其软件、硬件都相当成熟。

    1980年测试仪进入第四代,测量对象为VLSI,可测管脚数高达256个,功能测试图形速率高达100MHz,测试图形深度可达256K以上。测试仪的智能化水平进一步提高,具备与计算机辅助设计(CAD)连接能力,利用自动生成测试图形向量,并加强了数字系统与模拟系统的融合。有些系统实现了与激光修调设备连机工作,对存储器、A/D、D/A等IC芯片进行修正。从1970年仙童(Fairchard)公司形成Sentry系列以来,继而形成系列的还有泰克(Tektronix)公司的3200系列,泰瑞达(Teradyne)公司的A380系列、A300系列、日木安藤电气(AndoElectron)的8000系列、爱德万(Aduantest)的T3100、T320、T3700系列以及美国Megatest公司的Q-11系列,都取得较好的效益。

    21世纪,测试仪的功能测试速率已达500MHz以上,可测管脚数多达1024个,定时±55ps,测试仪的发展速度是惊人的。