洁净室内空气洁净度等级的检测/尘埃粒子计数器计数器/激光尘埃粒子计数器/颗粒计数器

发布时间:2017/5/12 16:02:00

1  空气洁净度等级的检测应在设计指定的占用状态(空态、静态、动态)下进行。

2  检测仪器的选用:应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计算器,在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力,粒子浓度适用范围和计数效率。仪表应有有效的标定合格证书。

3  采样点的规定:

1  限度的采样点数NL,见表.3;

表3   限度的采样点数NL

测点数NL

2

3

4

5

6

7

8

9

10

洁净区面

积A(m2

2.1~

6.0

6.1~

12.0

12.1~

20.0

20.1~

30.0

30.1~

42.0

42.1~

56.0

56.1~

72.0

72.1~

90.0

90.1~

110.0

注:1  在水平单向流时,面积A为与气流方向呈现垂直的活动空气截面的面积。

2  限度的采样点数NL=A0.5计算(四舍五进取整数)。

2  采样点应均匀分布于整面积内,并位于工作区的高度(距地坪0.8m的水平面),或设计单位、业主特指的位置。

B.4.4  采样量的确定:

1   每次采样的最少采样量见表4

表4   每次采样的最少采样量Vs(L)表

洁净度

等级

粒径(μm)
0.10.20.30.51.05.0
120008400
220084019605680
320841965682400
4282057240
5222624680
62222268
7227
8222
9222

2  每个采样点最少采样时间为1min,采样量至少为2L;

3  每个洁净室(区)最少采样次数为3次。当洁净区仅有个采样点时,则在该点至少采样3次;

4  对预期达到4级或更洁净的环境,采样量很大,可采用ISO14644—1附录F规定的顺序采样法。

5  检测采样的规定:

    1  采样时采样口处的气流速度,应尽可能接近室内设计气流速度;

    2  对单向流洁净室,其粒子计数器的采样管口应迎着气流方向;对于非单向流洁净室,采样管口宜向上;

    3  采样管必须干净,连接处不得有渗漏。采样管的长度应根据答应长度确定,假如无规定时,不宜大于1.5m;

    4  室内的测定职员必须穿洁净工作服,且不宜超过3名,并应阔别或位于采样点的下风侧静止不动或微动。

6  记录数据评价。中,当全室(区)测点为2~9点时,必须计算每个采样点的均匀粒子浓度Ci值、全部采样点的均匀粒子深度N及其标准差,导出95%置信上限值;采样点超过9点时,可采用算术均匀值N作为置信上限值。

每个采样点的均匀粒子浓度Ci应小于或即是洁净度等级规定的限值见表B.4.6-1。

表6-1   洁净度等级及悬浮粒子浓度限值

洁净度等级

大于或即是表中粒径D的浓度Cn(Pc/m3

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1.0μm

5.0μm

1

10

2

 —

2

100

24

10

4

3

1000

237

102

35

8

4

10000

2370

1020

352

83

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

352000

83200

2930

8

3520000

832000

29300

9

35200000

8320000

293000

注:

1  本表仅表示了整数值的洁净度等级(N)悬浮粒子浓度的限值。

2  对于非整数洁净度等级,其对应于粒子粒径D(μm)的浓度限值(Cn),应按下列公式计算求取。

3  洁净度等级的粒径范围为0.5~5.0μm,用于定级的粒径数不应大于3个,且其粒径的顺序级差不应小于1.5倍。

2  全部采样点的均匀粒子浓度N的95%置信上限值,应小于或即是洁净度等级规定的限值。即:式中  N──室内各测点均匀含尘浓度,N=∑Ci/n;

n──测点数;

s──室内各测点均匀含尘浓度N的标准差:

t──置信度上限为95%时,单侧t分布的系数,见表B.4.6-2。

表6-2    t系数

点数

2

3

4

5

6

7~9

t

6.3

2.9

2.4

2.1

2.0

1.9

7  每次测试应做记录,并提交性能合格或分歧格的测试。测试应包括以下内容:

    1  测试机构的名称、地址;

    2  测试日期和测试者签名;

    3  执行标准编号及标准实施日期;

    4  被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图;

    5  被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径(或沉降菌、浮游菌)、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压型;

    6  丈量用的仪器的编号和标定证书;测试方式细则及测试中的特殊情况;

    7  测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度(或沉降菌、浮游菌的菌落数);

    8  对异常测试值进行说明及数据处理。