真空计校准方法

发布时间:2024/3/12 13:32:00

真空计的校准方法主要包括以下几种:

· 静态校准法。首先将真空表放置在一个已知真空度的容器中,同时记录下容器内气压值和真空表显示值。如果真空表的指针与容器内气压值相符,则无需进行调整;如果不相符,则需要调整表针位置,使其与容器内气压值相符。

· 动态校准法。将真空泵连接至真空表上,通过调节真空泵使气压连续变化,记录下真空表显示值和实际气压值,通过比较记录数据,计算出真空表的误差并进行调整。

· 基准真空计法。选用一台已知准确度的真空计作为基准,用该真空计对要校准的真空计进行比较,得出修正系数。

· 平衡式校准法。将一台标准真空计和一个可调阀门组成一个平衡系统,通过调节阀门使系统达到平衡状态,计算出待校准真空计的修正系数。

· 气体比较法。将一定压力的气体置于一个精密容器中,将容器与待校准真空计连接,利用气密性检测两者之间的压差,计算出待校准真空计的修正系数。

· 零点校准和满度校准。校准零点时,对被测真空系统抽真空,一旦电离规测得真空度高于1.0^-1Pa,按“校零”按钮,对应指示灯亮或快速闪烁,真空计自动校正零点。满度校准时,对被测炉腔放大气,确保被校电阻规所测位置为大气状态,在大气压下工作约10分钟,按“满度”按钮,对应指示灯亮或快速闪烁,真空计自动校正满度。

· 旋转式真空计、热离子真空计、冷阴极真空计的校准方法。这些方法涉及将真空计与校准器连接,调整校准器直到误差最小或接近于零。

每种方法都有其特定的应用场景和步骤,选择合适的校准方法取决于真空计的类型和校准需求。