技术资料
Sensofar共聚焦白光干涉仪 | 光谱反射技术
发布时间:2024/5/23 15:01:00Sensofar共聚焦白光干涉仪 | 光谱反射技术
背景
薄膜
透明层沉积在表面上时,其反射率会变化。该系统获取可见范围内样本的反射光谱,并与软件计算的模拟光谱进行比较,对层厚进行修改,直到找到匹配的厚度。对于薄膜,厚度与光波长类似,我们沿着光谱获得波浪状的反射率响应。
主要特征
从 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜可在不到 5 秒的时间内测得
从 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜
不到 5 秒内采集
一个物镜可覆盖 整个 范围
不同光斑大小 (3.5 μm 到 40 μm)