功能介绍
四点探针法、全自动化运行测量系统
PC软件采集和数据处理、ASTM方法
测量电阻率、方块电阻、厚度
可调探针压力、测试点数、多种模式
显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值
提供标准校准电阻件、数据统计分析
适用范围
晶圆、非晶硅/微晶硅和半导体衬底电阻率测量；选择性发射极扩散片；
表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；电极设计，如电镀铜电阻测量等；
规格型号 FT-3110B（可扩展）
1.方块电阻 10^-6～2×10^5Ω/□
2.电阻率 10-7～2×106Ω-cm
3.测试电流 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
4.电阻精度 ≤0.3%（标准电阻）
5.PC软件操作 PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等
6.压力范围 探针压力可调范围：100-500g
7.探针 钨钢材质，探针间距1mm；机械游移率：≤0.3%；其他规格可定制
8.载台类型及尺寸选购 选购1:圆形载台晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）
选购2：方片载台尺寸：153mm*153mm范围内定制规格
9.分析模式 单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试
10.重复性 单点重复性：重复性≤0.5% 
11.防护功能 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报
12.电源 输入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W