福禄克气体流量校准解决方案

发布时间:2021/6/29 11:21:00

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福禄克气体质量流量校准系统molbloc/molbox1+,是校准流量计、质量流量控制器(MFC)、转子流量计、涡轮流量计,皂膜流量计以及其他流量测量设备的完美解决方案。molbloc/molbox1+支持实时测量,无活动部件,支持多种不同气体和工作压力下的可溯源校准,因此能够胜任各种校准应用。molbloc/molbox1+系统在很多行业内得到广泛应用,包括制药、半导体、航空、环境监测、发电、配气、以及研究和标准实验室。


  • 最优不确定度可达0.125%读数

  • 出众的量程范围比

  • 连续、实时的读数

  • 可选择18种不同气体

  • 28种单位可选(可自定义)

  • 显示分辨率可调

  • 具有可调时间周期的平均值和标准差计算

  • Hi/Lo监测

  • 支持两种不同的流量单位同时显示

  • MFC控制和测量,流量和%FS转换(可选)

  • 过压检测和自保护系统




流量测量主机molbox1+

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  • 压力测量

    绝压:± (0.01 % 读数或 0.003 % Q-RPT 量程,取大值 )

    差压 (A700K ) :± (8.4 Pa  或 0.032 % ΔP,取大值 )

    差压 (A350K ) :± (4.2 Pa 或 0.026 % ΔP,取大值 )

  • 温度测量

    类型:molbloc PRT,带 molbox1+ 电阻测量系统

    量程 (FS):0 至 40 ℃

    分辨率:0.01 ℃

    molbloc PRT 精度:± 0.02 ℃ (15 至 30 ℃ )

    参考电阻:100 和 110 W ± 0.01 %,稳定度 < 25 ppm/年

    电阻测量:± 0.02 % 读数 (15 ℃至 30 ℃ )



molbloc-L层流元件

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  • 特级标定:流量测量不确定度为读数的±0.125%

  • 标准标定:流量测量不确定度为读数的±0.2%

  • 量程范围:10个量程段可选

    最小0-10 (sccm);最大0-100 (slm)

  • 测量时间:1s

  • 支持类型:上游&下游



molbloc-S音速喷嘴元件

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  • 特级标定:流量测量不确定度为读数的±0.125%

  • 标准标定:流量测量不确定度为读数的±0.2%

  • 量程范围:10个量程段可选

  • 最小0.2-5 (slm);最大200-5000( slm)

  • 响应时间:1s

  • 支持类型:正压&负压


COMPASS for Flow校准辅助软件

  • 全自动校准

  • 自定义报告生成

  • 数据自动保存易导出

  • 支持宏命令


Molstic测试支架

  • 自带减压阀和截止阀

  • 可选单/双测试通道配置

  • 双通道可单独测试亦可并联测试

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