智能型X射线镀层测厚仪,镀层膜厚仪,镀层厚度测试仪

发布时间:2021/9/24 16:46:00

智能型X射线镀层测厚仪,镀层膜厚仪,镀层厚度测试仪是由江苏天瑞仪器股份有限公司专业研发并生产、销售智能型X射线镀层测厚仪,镀层膜厚仪,镀层厚度测试仪。

智能型X射线镀层测厚仪,镀层膜厚仪,镀层厚度测试仪Thick800A是天瑞仪器股份有限公司的集多年X荧光测厚仪经验,专门研发的一款上照式膜厚测试仪。仪器外观简洁大方,通过自动化的X轴Y轴Z轴的三维移动,双激光定位和保护系统,实现对平面、凹凸、拐角、弧面等各种简单及复杂形态的样品进行快速对焦分析。

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性能

高端配置——采用高分辨率SDD探测器;分辨率高达140eV

上照式设计——实现微小不规则表面样品如弧形,拱形,凹槽,螺纹等异形的快、准、稳高效检测高精度自动化的X轴Y轴Z轴的联动装置实现对样品的对焦快速检测

采用高度自动定位激光,可快速定位测试高度,以满足不同尺寸的镀层测试

多种准直孔可供选择——准直孔:0.05*0.3mm;Ф0.1mm;Ф0.2mm;Ф0.3mm;Ф0.5mm定位——样品可快速定位

操作简易——全自动智能集成设计,让检测轻松完成

1632472298(1).jpg技术

仪器配置高

智能型Thick 800A采用的是业内最高端的SDD半导体电制冷探

测器,分辨率可达140eV,可以很好的区分相邻元素谱峰。

以Au/Ni/Cu镀层为例,正比计数盒仪器谱图如图一,从谱图可以看出铜镍两元素的谱峰重叠严重,金的峰形与样品本底重叠;不利于元素准确分析。

图二是半导体SDD仪器测试Au/Ni/Cu的光谱图,从谱图可以看出铜镍金这三个元素的谱峰得到很明显的区分,有利于元素分析。

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聚焦光路设计

智能型Thick 800A采用独特的光路交换装置,让X射线与摄像光处于同一垂直线,达到激光点与测试点一体,且X光高度聚焦;配合FP软件达到对焦变焦功能, 实现微小不规则样品的测试; 高集成的光路交换装置与接收器的角度可缩小一倍,有效的减少弧度倾斜放样带来的误差。

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更加专业和人性化的测试软件

主界面增加曲线快速切换功能;

② 鼠标移动快捷键更改不需要ctrl,鼠标点哪,样品平台就会移动到哪里,更加方便客户测试;

③镀层厚度自动判定,客户可以根据需要自定义判定标准;

④工作曲线界面加入备注名称可编辑,并可以显示在主界面曲线界面,对英文元素做备注说明,方便客户区分,界面对客户更加友好

⑤自动生成测试报告,测试历史数据察看、检索等

⑥行业解决方案,如精密部件钕铁硼镀镍镀铜再镀镍,电泳漆测厚度,铝塑膜测试镀铝的厚度等。

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技术参数

测量元素范围

16硫S~92铀U之间的元素均可测量

同时检测元素

可同时分析24个元素,五层镀层

检出限

金属镀层分析最薄可达0.005μm

厚度范围

分析镀层厚度一般在50μm以内(每种材料有所不同

镀层测试精度

<5%

含量测试范围

2ppm--99.99%

含量检测精度

0.5%

稳定性

多次测量重复性可达1%

检测时间

5-40秒

Z轴升降平台升降范围

0~140mm

探测器及分辨率

25mm2 Be窗口SDD半导体探测器,分辨率140±5eV

X射线装置

50KV/1000uA-W靶X光管及高压电源

多道分析器

DMCA数字多道分析技术,分析道数4096道

准直器和滤光片标配

Ф0.05*0.3mm准直器,可选配Ф0.1mm,Ф0.2mm或其他孔径,Al滤光片

最小测试直径

Ф0.1mm

样品观察

配备CCD多彩摄像头,图像放大可达25倍,视野可达6 X 4.8mm实现微小样品

 

清晰定位。

样品移动平台

全自动高精度多点测试XY移动平台

对焦

高度激光自动对焦

平台稳定性

Z轴测试平台采用恒力弹簧平衡重力,实现平台的恒力升降,有效降低Z轴电机

 

负荷,并有效保证了Z轴的垂直度。

分析方法

FP与EC法兼容能量色散X荧光分析方法

安全性

双重安全保护设施:防撞激光检测器与样品室门开闭传感器;待机无辐射,工作

 

时辐射水平远低于安全标准,配软件连动装置。

外型尺寸

606(W)×643(D)×561(H)mm

样品室尺寸

590(W)×385(D)×140(H)mm

操作环境温湿度

15℃~30℃,≤70%

工作电源

交流220V±5V, 建议配置交流净化稳压电源

仪器重量

90kg

江苏天瑞仪器股份有限公司是具有自主知识产权的高科技企业,注册资金49699万

总部坐落于风景秀丽的江苏省昆山市高新工业园区

公司专注于分析仪器28年,是X荧光标准起草单位

公司被授予“国家火炬计划重点高新技术企业”,“国家优秀民营科技企业”,“江苏省高科技企业”“江苏省软件企业”,“江苏省科技创新型企业”,“中国最具投资价值企业50强”

具有顶级的技术水平和雄厚的研发实力,下设天瑞分析测试研究院,被授予“江苏省光谱分析仪器工程技术研究中心”

X荧光光谱仪系列产品被“授予江苏省高新技术产品”,X射线镀层测厚仪在中国科学仪器及实验室装备展览会获自主创新银奖

公司最大的在于根据客户的实际需要,为客户量身定做解决方案

公司具有完善的售后服务体系:天瑞技术工程师都具备多年的X荧光光谱仪仪行业经验,同时天瑞仪器在全国建立20多处技术办事处。

2011年1月25日,天瑞仪器在深圳证券交易所创业板上市,股票代码为300165

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