x光镀层测厚仪品牌

发布时间:2019/7/3 15:00:00

x光镀层测厚仪品牌

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x光镀层测厚仪品牌技术参数

1   型号 Thick800A

2 外型尺寸 

576(W)×495(D)×545(H) mm

3 样品室尺寸 

500(W)×350(D)×140(H) mm

4   样品台尺寸                    

230(W)×210(D)mm

5   Z轴升降平台升降范围          

 0~140mm

6   平台移动测量范围              

50mm(W)×500mm(D)×135mm(H)

7   *分析方法 FP与EC法兼容能量色散X荧光分析方法

8   测量元素范围 原子序数为16S~92U之间的元素均可测量

9   *同时检测元素 可同时分析最多24个元素,五层镀层

10  *检出限                      

 金属镀层分析最薄可达0.005μm

11  厚度范围                      

分析镀层厚度一般在50μm以内(每种材料有所不同)

12  稳定性                        

多次测量重复性可达1%

13  检测时间 30-60秒

14  *探测器及分辨率 25mm2Be窗口SDD探测器,分辨率140±5eV

15  激发源  50KV/1000uA-W靶X光管及高压电源

16  *多道分析器                   

DMCA数字多道分析技术,分析道数4096道

17  准直器和滤光片 固定Ф0.2mm准直器,可选配其他孔径,Al滤光片

18  定位                     

 平台电机重复定位小于0.1um

19  样品观察                     

 配备CCD多彩摄像头,图像放大可达40倍,实现微小样品清晰定位。

20  平台稳定性                    

Z轴测试平台采用恒力弹簧平衡重力,实现平台的恒力升降,有效降低Z轴电机负荷,并有效保证了Z轴的垂直度。

21  安全性 双重安全保护设施:防撞激光检测器与样品室门开闭传感器;待机无辐射,工作时辐射水平远低于国际安全标准,且具有软件连动装置。

22  操作环境温湿度 15℃~30℃,≤70%

23  仪器重量 90kg

24  工作电源                     

 交流220V±5V, 建议配置交流净化稳压电源

五、软件优势

   采用公司的能量色散X荧光FpThick软件,先进的FP法和EC法等多种方法嵌入的人性化应用软件,具有高灵敏度、测试时间短、一键智能化操作。谱图区域采用动态模式,测试时元素观察更直观。

   具有多种测试模式设置和无限数目模式自由添加,内置强度校正方法,可校正几何状态不同和结构密度不均匀的样品造成的偏差。 

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