x射线测厚仪 镀层分析仪
发布时间:2019/4/24 15:35:00x射线测厚仪 镀层分析仪产品介绍
x射线测厚仪 镀层分析仪XTU-50A采用先进的进口正比计数盒探测器能够达到非常高的分析及探测灵敏度。依靠FP基本参数法,可以在没有校验标准片校正的情况下分析固、液态样品的成分及测量样品的镀层厚度。x射线测厚仪 镀层分析仪XTU-50A仪器有着出色的性以及长期的稳定性,这样就显著减少了校准仪器所需的时间和精力。
XTU-50A镀层测厚仪结构紧凑,有大容量的开槽设计样品腔,即使超过样品腔尺寸的工件也可以测试。搭配微聚焦射线管和先进的光路设计,以及变焦算法装置,可测试极微小和异形样品。检测78种元素镀层·0.005um检出限·小测量面积0.002mm2深凹槽可达90mm。外置的高精密微型滑轨,可以快速控制样品移动,移动0.005mm,速度10-30mm(X-Y)/圈,再小再多的样品测试都能轻松应对。
型号 | XTU-50A |
测量元素范围 | Cl(17)-U(92) |
涂镀层分析范围 | 各种元素及有机物 |
分析软件 | EFP,可同时分析23层镀层,24种元素,不同层有相同元素和有机物厚度也可分析 |
测试程式添加 | 1862条测试程式提供,也可编辑新程式 |
软件操作 | 人性化封闭软件,自动提示校正和步骤,避免操作错误 |
X射线装置 | 升压发射一体高分子聚合式W靶射线管 |
接收器 | 日本东芝正比计数管,窗口面积≥150mm2 |
射线准直系统 | 垂直光路交换装置搭配黄金准直器 |
视频观测光路系统 | 垂直光路交换装置搭配100mm变焦镜头 |
测样读取开启方式 | 恒压恒流快门式光闸 |
滤光片 | 铝、无、镍 |
准直器 | ? 0.2 mm;? 0.5 mm;准直器任意选择一种 |
近测距光斑扩散度 | 10% |
小测量面积 | 约? 0.2 mm |
测量距离 | 具有距离补偿功能,可改变测量距离,能测量凹凸异型样品,变焦距离0-30mm(特殊要求可以升级到90mm) |
样品观察 | 1/2.5彩色CCD,全局快门,有效像素:1280*960.变焦功能 |
对焦方式 | 高敏感镜头(无需增加其它辅助传感器),手动对焦 |
放大倍数 | 光学38-46X,数字放大40-200倍 |
样品台尺寸 | 500mm*360mm |
样品可放置区域 | 480mm*320mm*205mm(C型开槽设计,特殊测试时可以超出区域放置样品) |
外部尺寸 | 540mm*430mm*475mm |
移动方式 | 高精密XY手动滑轨 |
可移动范围 | 40mm*50mm |
电气参数 | 电源:交流220V 50Hz 功耗:120W(不包括计算机) |
冷却系统 | 对流通道过滤式风冷 |
保养升级模式 | 软硬件模块化 |
环境要求 | 使用时温度:10°C-40°C 存储和运输时温度:0°C-50°C 空气相对湿度:≤80% |
重量 | 约45Kg |
随机标准片 | 十二元素片、Ni/Fe 、Au/Ni/Cu |
其它附件 | 联想电脑一套、喷墨打印机、附件箱 |
技术指标:
1.1 分析元素范围:Cl(17)-U(92)
1.2 同时可分析多达5层镀层以上
1.3 分析厚度检出限0.01μm
1.4 多次测量重复性可达0.01μm
1.5测量时间:5s-300s
1.6 计数率:0-8000cps
工作环境要求:
2.1 环境温度要求:15℃-30℃
2.2 环境相对湿度:<70%
2.3 工作电源:交流220±5V
2.4 周围不能有强电磁干扰。
配置清单 | 名 称 | 参 数 | 数 量 | 单 位 |
1.硬件配置 | 正比接收器 | / | 1 | pcs |
W靶X射线发生器 | / | 1 | pcs | |
光学准直器 | φ0.05mm φ0.1mm φ0.2mm φ0.5mm 可任选其中一种 | 1 | pcs | |
可变焦镜头 | / | 1 | pcs | |
主控板 | / | 1 | pcs | |
信号放大器 | / | 1 | pcs | |
分配板 | / | 1 | pcs | |
高精密XY移动平台 | / | 1 | pcs | |
高清工业摄像头 | / | 1 | pcs | |
X射线高压板 | / | 1 | pcs | |
高低压电源 | / | 1 | pcs | |
2.软件配置 | EFP-T镀层分析软件 | / | 1 | 套 |
3.计算机配置 | 内存 | 4G | 1 | 套 |
硬盘 | 160G | |||
显示器 | 19'LCD Montor | |||
4.喷墨打印机 | 彩色喷墨打印机 | / | 1 | 台 |
5.附件 | 软件密码狗 | / | 1 | pcs |
网线、USB线、电源线 | / | 3 | pcs | |
高压钥匙 | / | 2 | pcs | |
样品测试膜 | / | 1 | 卷 | |
Ni/Fe(5μm)标准片 | / | 1 | pcs | |
Au/Ni/Cu(0.1μm/2μm)标准片 | / | 1 | pcs | |
U盘(数据备份) | / | 1 | pcs | |
十二纯元素标准片 | / | 1 | pcs |
XTU-A膜厚仪测试仪采用EFP无标样测试法,可同时分析23层镀层,24种元素,不同层有相同元素和有机物厚度也可分析。? 0.05 mm ;? 0.1 mm;? 0.2 mm;? 0.5 mm;准直器任意选择一种。测试面积约? 0.06 mm;具有距离补偿功能,可改变测量距离,能测量凹凸异型样品,变焦距离0-30mm(特殊要求可以升级到90mm);
XTU-A技术参数:
测量元素范围:Cl(17)-U(92)
涂镀层分析范围: 各种元素及有机物 EFP,可同时分析23层镀层,24种元素,不同层有相同元素和有机物厚度也可分析,
探测器/接收器:日本东芝正比计数管,窗口面积≥150mm2
X射线装置:升压发射一体高分子聚合式W靶微聚焦加强型射线管
射线准直系统:垂直光路交换装置搭配黄金准直器 垂直光路交换装置搭配100mm变焦镜头
样品观察功能:1/2.5彩色CCD,全局快门,有效像素:1280*960.变焦功能
对焦方式:高敏感镜头(无需增加其它辅助传感器),手动对焦
仪器尺寸:外部尺寸540mm*430mm*475mm
样品可放置区域:480mm*320mm*205mm(C型开槽设计,特殊测试时可以超出区域放置样品)
样品移动方式;高精密XY手动滑轨 可移动范围 40mm*50mm
电气参数:电源:交流220V 50Hz 功耗:120W(不包括计算机)
环境要求:使用时温度:10°C-40°C 存储和运输时温度:0°C-50°C 空气相对湿度:≤80%
重量:45Kg
随机标准片:十二元素片、Ni/Fe 、Au/Ni/Cu
其它附件:联想电脑一套、喷墨打印机、附件箱
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