X射线荧光膜厚仪
发布时间：2019/4/24 15:31:00X射线荧光膜厚仪
X射线荧光膜厚仪产品介绍
X射线荧光膜厚仪技术指标：
1.1 分析元素范围：Cl（17）-U（92）
1.2 同时可分析多达5层镀层以上
1.3 分析厚度检出限0.01μm
1.4 多次测量重复性可达0.01μm
1.5测量时间：5s-300s
1.6 计数率：0-8000cps
X射线荧光膜厚仪工作环境要求：
2.1 环境温度要求：15℃-30℃
2.2 环境相对湿度：<70%
2.3 工作电源：交流220±5V
2.4 周围不能有强电磁干扰。
X-ray膜厚仪配置清单 | 名 称 | 参 数 | 数 量 | 单 位 |
1.硬件配置 | 正比接收器 | / | 1 | pcs |
W靶X射线发生器 | / | 1 | pcs | |
光学准直器 | φ0.05mm φ0.1mm φ0.2mm φ0.5mm 可任选其中一种 | 1 | pcs | |
可变焦镜头 | / | 1 | pcs | |
主控板 | / | 1 | pcs | |
信号放大器 | / | 1 | pcs | |
分配板 | / | 1 | pcs | |
高精密XY移动平台 | / | 1 | pcs | |
高清工业摄像头 | / | 1 | pcs | |
X射线高压板 | / | 1 | pcs | |
高低压电源 | / | 1 | pcs | |
2.软件配置 | EFP-T镀层分析软件 | / | 1 | 套 |
3.计算机配置 | 内存 | 4G | 1 | 套 |
硬盘 | 160G | |||
显示器 | 19'LCD Montor | |||
4.喷墨打印机 | 彩色喷墨打印机 | / | 1 | 台 |
5.附件 | 软件密码狗 | / | 1 | pcs |
网线、USB线、电源线 | / | 3 | pcs | |
高压钥匙 | / | 2 | pcs | |
样品测试膜 | / | 1 | 卷 | |
Ni/Fe（5μm）标准片 | / | 1 | pcs | |
Au/Ni/Cu（0.1μm/2μm）标准片 | / | 1 | pcs | |
U盘（数据备份） | / | 1 | pcs | |
十二纯元素标准片 | / | 1 | pcs |
XTU-AX-ray膜厚仪采用EFP无标样测试法，可同时分析23层镀层，24种元素，不同层有相同元素和有机物厚度也可分析。? 0.05 mm ；? 0.1 mm；? 0.2 mm；? 0.5 mm；准直器任意选择一种。测试面积约? 0.06 mm；具有距离补偿功能，可改变测量距离，能测量凹凸异型样品，变焦距离0-30mm(特殊要求可以升级到90mm)；
X-ray膜厚仪XTU-A技术参数：
测量元素范围:Cl（17）-U（92）
涂镀层分析范围: 各种元素及有机物 EFP，可同时分析23层镀层，24种元素，不同层有相同元素和有机物厚度也可分析，
探测器/接收器:日本东芝正比计数管，窗口面积≥150mm2
X射线装置:升压发射一体高分子聚合式W靶微聚焦加强型射线管
射线准直系统:垂直光路交换装置搭配黄金准直器 垂直光路交换装置搭配100mm变焦镜头
样品观察功能：1/2.5彩色CCD，全局快门，有效像素：1280*960.变焦功能
对焦方式：高敏感镜头（无需增加其它辅助传感器），手动对焦
仪器尺寸：外部尺寸540mm*430mm*475mm
样品可放置区域：480mm*320mm*205mm（C型开槽设计，特殊测试时可以超出区域放置样品）
样品移动方式;高精密XY手动滑轨 可移动范围 40mm*50mm
电气参数:电源：交流220V 50Hz 功耗：120W（不包括计算机）
环境要求:使用时温度：10°C-40°C 存储和运输时温度：0°C-50°C 空气相对湿度：≤80%
重量:45Kg
随机标准片:十二元素片、Ni/Fe 、Au/Ni/Cu
其它附件:联想电脑一套、喷墨打印机、附件箱
性能优势：
下照式设计：可以快速方便地定位对焦样品。
无损变焦检测:可对各种异形凹槽进行无损检测，凹槽深度范围0-90mm。
微聚焦射线装置：可检测面积小于0.002mm2的样品，可测试各微小的部件。
高效率的接收器：即使测试0.01mm2以下的样品，几秒钟也能达到稳定性。
EFP先进算法软件：多层多元素，甚至有同种元素在不同层也难不倒EFP算法软件。
仪器规格：
外形尺寸 ：550 mm x 480mm x 470 mm （长x宽x高）
样品仓尺寸 ：500mm×360 mm ×215mm （长x宽x高）
仪器重量 ：55kg
供电电源 ：交流220±5V
功率 ：330W
环境温度：15℃-30℃
环境相对湿度：<70%
技术参数：
