X射线镀层测厚仪
发布时间:2024/3/4 15:51:00EDX(Energy Dispersive Spectrometry)即能量色散 X 射线荧光光谱分析仪采用的 X 射线荧光光谱分析原理。X 射线荧光分析原理:当样品中元素的原子收到高能 X 射线照射时,即发射出具有一定波长的特征 X 射谱线。特征谱线的波长与元素的原子序数(Z)有关,而与激发 X 射线的能量无关。所以测定谱线的波长,就可知道试样中含有什么元素(即定性分析);测量谱线的强度,就可知该元素的具体含量(即定量分析)。仪器工作原理:仪器高压电源给光管提供管压和管流,光管激发出连续的 X射线荧光光谱线(即原级 X 射线),原级 X 射线照射到样品上,样品产生具有样品特征的 X 荧光谱线,经过探测器后变成电压信号,信号经过放大和数据采集后传送给计算机,经软件处理后最终获样品的测量结果。
江苏天瑞仪器股份有限公司是一家zhuan ye 从事分析测试仪器研发、生产、销售的guo ji化高科技企业,产品主要包括光谱、色谱、质谱等。针对 EDX 2000A 在镀层等ling yu的广泛应用,根据优化产品性能和提高市场占有率的需求,特别设计该款 EDX 2000A。该款仪器聚焦效果好,自动化的 X 轴 Y 轴 Z轴的联动装置,实现对平面、凹凸、台阶、弧面等各种形态的样品进行快速ding wei,对焦,准确分析。
产品名称:X射线镀层测厚仪
产品型号:EDX2000A
(1)外形尺寸:485(W)×588(D)×505(H)mm
样品腔尺寸:430(W)×400(D)×140(H)mm
(2)重量 60kg
(3)X 射线源:
X 射线管:W 靶材
X 射线管电压: 5——50KV,可调
X 射线管电流: 50uA——1mA,可调
X 射线管制冷: 密闭型风冷
(4)准直系统:标配¢0.3mm(可根据要求选配)
(5)滤光片:Al 滤光片(可根据要求选配)
(6)X 射线检测: FSDD 探测器
(7)样品观测配置
样品照明: LED 灯,上方垂直环绕照射
观察:彩色 CCD 变焦工业摄像头
倍率:15-25 倍
视野:6 X 4.8mm
变焦:0-40mm
(8)Z 轴调节:图像识别功能7高度激光对焦
(9)电动 XY 高jing度移动平台
样品台尺寸: 320(W)× 265(D)mm
移动范围:100mm(X) × 100mm(Y)
分辨率:5um
重复定位jing度: <10um
步进电机步距角: 1.8°
载重量:3 kg(无倾斜)
(10)Z 轴升降平台:
升降幅度范围:0—140mm
(11)an quan bao hu 操作人员在未关高压的情况下打开屏蔽罩仪器会自动断高压。
(12)数据采集4096 道细分数据采集
(13)X 射线管工作情况监测系统软件画面显示当前的管压,管流,元素峰通道,记数率等。
(14) 电源:电源输入:AC220±10%,5A,50/60HZ
特别性能
? 上照式:各种形状样品都可测试
? 高分辨率探头:提高分析的准确性
? an quan 性:新一代光管良好的屏蔽作用,X 射线的辐射基本为 0;仪器上盖的测试自锁和高压电源紧急锁功能,形成了对操作者的全方位fang hu
? 测试组件可升降,激光测距系统,满足不同高度样品的非接触式准确测试
? gao jing 度移动平台,支持智能定位测试,多点测试和网格测试模式
? 较小准直器
? 可视化操作
? 智能的 Fp 测试软件,不需要标准样品,即可以实现多种制程的准确测试
? 相互du li 的基体效应校正模型
? 一键测试按钮
? 鼠标定位测试点
? 大样品腔设计
? 测试口an quan fang hu
? 智能防撞系统
技术指标
? 元素分析范围从铝(Al)到铀(U)
? 可同时分析 24 个元素,5 层镀层
? 仪器检出限:0.005um
? 镀层厚镀范围:0.005um—50um
? 多次测量重复性: 2%
? 长期工作稳定度为 3%
(注:多次重复性实验和长期稳定性实验是在准直器?0.5mm 的条件下测试的,除小于0.1um 较薄镀层大多数情况下 man zu 以上标准,RSD 为相对标准偏差)
应用ling yu:
? 金属镀层的电镀、化镀、热镀等镀层厚度分析测量
? 金属表面阳极氧化等涂覆层厚度测试
? 电镀液成分测试合、金镀层成分及厚度分析
? 首饰定性半定量分析以及镀层厚度分析和检测机构、电镀行业