仪器仪表的内阻测量和分析，中国空气动力研究与发展中心校准测试。中，5520A输出电压Vs给BZ3标准电阻Rbz3，Rs为5520A的内阻，Fluke8508A数字多用表交替测量5520A输出端和BZ3端电压分别为V1和V2.测试导线为8508A-LEAD R表8846A测量电压的原理图表1数字多用表测量电压的内阻值仪器型号量程内阻shilededleadedwithgoldspades，通过公，直接用Fluke8508A数字多用表测量电压为Vi（有效值），如（1）所示。然后，9500B串联一个BZ3标准电阻，用8508A测量BZ3两端电压为V2（有效值），如（2）所示。其中，Rbz3为BZ3电阻值Rbz3=1，Rs为9500B输出内阻。测得的设置的输出内阻。

　　9500B输出正弦波电压的内阻测量原理图表3 9500B输出正弦波电压的内阻测量值很小从表3可以得出，9500B输出直流电压时，8508A数字多用表测得电压几乎等于9500B的设定值，也就是说负载上得到的电压不受9500B内阻的影响，可见9500B输出直流电压时内阻很小；9500B输出正弦波电压，在输出内阻设置为50ft时测得9500B内阻约为50 0，输出的电压幅度实际上是9500B设定值的2倍，在输出内阻设置为1MO时测得9500B内阻约为25 0，输出的电压幅度等于9500B设定值。因此，在检定示波器时，示波器和9500B都设置为50O或1MO阻抗匹配时，正好能在示波器端获得9500B输出的电压设定值。

　　33250和Fluke81等，当输出内阻为50 0时，信号发生器输出电压幅度实际上是设定值的2倍。

　　E4404B内阻测量原理图中，Fluke5720A多功能校准源输出电压Vs（有效值）给AgilentE4404B频谱分析仪，用Fluke8846A数字多用表测量E4404B两端电压为V1（有效值），E4404B自身测得电压为V2（有效值），Rs为5720A输出内阻（在220mV以下档为50ft），R表为E4404B输入内阻，E4404B和8846A测得电压值如表4所示。

　　从表4可以看出，E4404B在DC耦合模式下（频率9件2以上），8846人测量值和瓦44048测量值是一致的，都是输出信号的一半，可见DC耦合模式下瓦44048的内阻等于5720入的内阻，即为500.E4404B在AC耦合模式下，100kHz以下频率E4404B测得电压值超差严重；但在100kHz以上频率时，E4404B测得电压值怡好是5720A输出电压的一半；随着频率的继续增加，当在250kHz时8846A和E4404B测量值基本上相等，这说明测量250kHz以上信号时E4404B的输入内阻就是50ft.表4 E4404B频谱分析仪内阻测量值耦合指标外5结束语内阻在任何输入输出单元都存在，在直流和低频电路中内阻仅仅影响到信号大小，在高频测试中内阻大小容易造成传输路径上阻抗的不匹配造成信号失真。本文通过对8846A、5520A、9500B和E4404B4种仪器部分功能的内阻测量和分析，得出了测量内阻的方法，阐明了仪器内阻影响测量结果的原因，解决了计量检定过程中由内阻导致的一些测量疑惑和问题，从而提高检定人员测量分析技术能力和保证测量结果准确性。