SMC真空发生器流量特性表示真空发生器的真空压力与吸入流量的关系。吸入流量变化则真空压力也变化。一般是指真空发生器在标准使用压力下的关系曲线。

    图中.Pmax为真空压力.Qmax为吸入流量。样本等中作为规格所记载的值即为此值。结合真空压力的变化作如下说明:

    SMC真空发生器ZH系列的真空口(VAC.]则吸入流量为0.真空压力达(Pmax)。

    逐渐开启真空口使空气流动产生泄漏、吸入流量增加，真空压力下降(P1和Q1的状态)

    真空口全开,吸入流量(Qmax) 真空压力几乎为零(大气压力)。

因此真空口不泄漏,真空压力达。泄漏量增加.真空压力下降。日本原装SMC真空发生器的泄漏量等于吸入流量，则真空压力几乎为零。

根据回路，选择合适的尺寸和气动元件

    SMC真空发生器配套供气阀（2通阀）+真空过滤器：2通阀用于控制真空的产生和停止，利用接通大气破坏真空，为了保护真空发生器而配备真空过滤器。

    供气阀（3通阀）+可调节流阀+真空过滤器：3通阀用于控制真空的产生和停止(同时破坏真空)，为了调节破坏流量而配备可调式节流阀，配备真空过滤器，以保证SMC真空发生器的使用寿命。

    供气阀（3通阀）+可调节流阀+真空过滤器+消声器：例2)变更配管方式.可以将真空产生作为初始状态，来进行断电保护，配备可调式节流阀调节破坏流量，真空过滤器保护真空发生器，在排气口配备消声器(降低排气噪音)

    供气阀（2通阀）+破坏阀（2通阀）+可调节流阀+消声器+空气过滤器+压力表：通过供气阀.破坏阀控制真空产生.真空破坏，为了能够观察吸附时的真空压力设置压力表，在使抽吸上来的尘埃不会顺着破坏空气逆向流入SMC真空发生器的位置设置真空过滤器。(使用3通阀的场合，请将破坏阀的R通口堵塞)

    供气/破坏阀（3位5通阀）+可调节流阀：中封式3位5通阀控制真空产生和真空破坏，在真空通口设置单向阀防止供气阀OFF时真空压力降低兴，在真空回路中配备真空压力开关检测真空压力，在使破坏空气中的尘埃不会逆向流入真空发生器的位置配备真空过滤器。