便携式172nm超紫外光刻/表面处理，可以直接作用各种有机材料，柔性材料。紫外LED冷光源，稳定可靠寿命长。

目标实验室：大学、科研院所的如下实验室

·       半导体材料和工艺研究

·       物理：微机电、纳米、存储、芯片研究、传感器

·       化学：材料研究，刻蚀、光刻、清洗

·       光电

·       材料科学

目标应用：

·       高分辨率光刻技术

·       光烧蚀

·       光解/光催化工艺

·       表面能改善

·       低损耗原子级表面清洁

·       薄膜附着力强化