洁净区悬浮粒子监测采用计数浓度法，既通过测定洁净区环境内单位体积空气中

含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室（或洁净区）的悬浮粒子洁净度等级。

1、仪器：CLJ-E3016型激光尘埃粒子计数器。（苏州绿达净化尘埃粒子计数器厂家生产）

2监测原理：空气中悬浮粒子在光的照射下产生光散射现象，散射光的强度与粒子的表面积成正比。

3  测试规则

3、1  洁净室（区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃～26℃，相对湿度控制在45%～65%之间为宜）。

3、2 压差：空气洁净度不同的洁净室（洁净区）之间的压差应≤5 Pa ，空气洁净度级别要求高的洁净室（洁净区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（洁净区）一般呈相对正压。

3、3、 测试状态

3、3、  1静态测试和动态测试

静态测试时，室内测试人员不得多于2人。测试见厂房洁净度悬浮粒子监测记录表。

动态测试指洁净室已处于正常状态下的测试。

3、3、2  测试时间

测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。

3、4 悬浮粒子计数

3、4、1    采样点数目及其布置

最少采样点数目，悬浮粒子洁净度测试的最少采样点数目见下表1。 

面 积 ㎡	洁净度级别
	100	10000	100000
<10 ≥10～<20 ≥20～<40 ≥40～<100 ≥100～<200 ≥200～<400 ≥400～<1000 ≥1000～<2000 2000	2～3 4 8 16 40 80 160 400 800	2 2 2 4 10 20 40 100 200	2 2 2 2 3 6 13 32 63
注：表中的面积，对于单向流洁净室，指的是送风面积；对非单向流洁净室，指的是房间面积。

3、4、2采样点的位置

 a）采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。

   b）采样点多于5点时，也可以在离地面0.8m～1.5m高度的区域内分层布置，但第层不少于5点。

3、4、3采样点的限定

   对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于2个，总采样点次数不得少于5次。第个采样点的采样次数可以多于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。

3、4、4采样量

不同洁净度级别每次的采样量见表2。

表2  采样量

洁净度级别	采样量，L/次
	≥0.5μm	≥5μm
100 10000 100000	5.66 2.83 2.83	— 8.5 8.5

3、4、4采样注意事项

3.4.4.1在确认洁净室（区）送风量和压差达到要求后，方可进行采样。

3、4.4.2对于单向流，计数器采样管口应正对气流方向，对于非单向流，采样管口宜向上。

3.4.4.3布置采样点时，应避开回风口。

5.4.4.4采样时，测试人员应在采样口的下风侧。

6.结果计算

    悬浮粒子浓度的采样数据应按下步骤作统计计算：

6.1采样点的平均粒子浓度

A=（C1+C2+........Cn）/N

式中：A——某一采样点

的平均粒子浓度，粒/m³；

C--_I——某一采样点的粒子浓度（i=1，2，…，N），粒/ m³；

N——某一采样点上的采样次数，次。

6.2平均值的均值

M=（A1+A2+........+AL）  /  L

式中：M——平均值的均值，即洁净室（区）的平均粒子浓度，粒/ m³；

A_i——某一采样点的平均粒子浓度（i=1，2，…，L），粒/ m³；

L——某一洁净室（区）内的总采样点数，个。

6.3标准误差

式中：SE——平均值均值的标准误差，粒/ m³；

6.4置信上限

                     UCL=M+txSE                    

        式中：UCL——平均值均值的95%置信上限，粒/ m³；

        t ——95%置信上限的t分布系数，见表3。

表3   95%置信上限的t分布系数

采样点数L	2	3	4	5	6	7	8	9	>9
t	6.31	2.92	2.35	2.13	2.02	1.94	1.90	1.86
注：当采样点数多于9点时，不需要计算UCL。

7.结果评定

    判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述二个条件。

7.1每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限，即A_i≤级别界限。

7.2全部采样点的粒子浓度平均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限。

苏州绿达净化尘埃粒子计数器-CLJ-E3016