测量静压旋转平台油膜厚度

发布时间:2014/12/4 17:03:00

应用背景

液体静压转台是采用液体静压轴承作为支撑,将转台主轴功能与电动机功能从结构上融为一体的功能部件,它集成了液体静压轴承技术、冷却密封控制技术和变频电动机技术等,其功能是功能部件带动工件实现精密/超精密旋转(定位)和精密加工。液体静压转台采用压力油膜作为工作介质,具有高承载刚度特性,摩擦部件无磨损,可克服爬行现象,运转灵敏平稳。同时,承载油膜的误差均化作用又使得静压转台具有极高的回转和定位。在实际工作中,需要测量并反馈油膜厚度从而控制旋转平台,需求测量为um级。

 

解决方案

平台为铁,可以用KD2306高电涡流传感器对其进行测量,分别在平台上下装上电涡流传感器,通过测量铁平台的位移就可以计算出油膜的厚度。KD2306高电涡流传感器分辨率为0.1um,可以完全满足其的要求,响频高达50KHZ,可以很方便的对其位置进行实时监控。