应用背景

液体静压转台是采用液体静压轴承作为支撑，将转台主轴功能与电动机功能从结构上融为一体的功能部件，它集成了液体静压轴承技术、冷却密封控制技术和变频电动机技术等，其功能是功能部件带动工件实现精密/超精密旋转（定位）和精密加工。液体静压转台采用压力油膜作为工作介质，具有高承载刚度特性，摩擦部件无磨损，可克服爬行现象，运转灵敏平稳。同时，承载油膜的误差均化作用又使得静压转台具有极高的回转和定位。在实际工作中，需要测量并反馈油膜厚度从而控制旋转平台，需求测量为um级。

解决方案

平台为铁，可以用KD2306高电涡流传感器对其进行测量，分别在平台上下装上电涡流传感器，通过测量铁平台的位移就可以计算出油膜的厚度。KD2306高电涡流传感器分辨率为0.1um，可以完全满足其的要求，响频高达50KHZ，可以很方便的对其位置进行实时监控。