耀群科技为一微粒污染量测之服务团队,并主要代理美国HACHULTRAANALYTICS、MATECAPPLIEDSCIENCES等各大厂牌【MetOne,Royco,HIAC,HYT,ARTI,RION。,Anatel,PMS】等各种仪器及系统。
  
  服务对象包括半导体、电子、光电、食品、医药、生物科技及航空等涵盖所有产业。
  
  主要代理业务内容:◎厂务微污染PMS纯水端Particle监控系统设计规划◎空气微粒子计数器ParticleCounter销售、校正、租借服务◎无尘室(AirborneParticleCounter)、纯水系统(LiquidParticleCounter)Particle量测服务◎无尘室等级验证(NEBB认证)、咨询、仪器租借等服务◎半导体设备机台(PVD,CVD,。Etch,Diffusion)Chamber内、零件清洗商QIII+表面微粒子计数器◎在线超纯水DIW系统AnatelUP-100╱UP-50厂务端超纯水在线微粒洁凈间控计数仪◎在线制程化学品溶液微粒洁凈间控计数仪◎高粘度光阻及各式油品含润滑液溶剂油品洁凈微粒计数器◎干式汉姆克滚筒无尘衣测试;湿式测试擦拭布洁凈度测试LPC符合IEST-RP-003~5规范。
  
  ◎ESD静电量测设备、TSI风速计、Rotronic温湿度计、。等。
  
  ◎CMPSlurryParticle分析