薄膜是指沿衬底垂直方向堆叠的1~104个原子层或分子层。在这个方向上，薄膜具有微结构。
理想的膜厚度是指基底表面和膜表面之间的距离。因为薄膜只在厚度方向上是微观的，其他二维方向有宏观尺寸。因此，要表达薄膜的形状，必须用宏观的方法，即长、宽、厚的方法。所以膜厚不仅仅是宏观概念，更是微观固体线性。
事实上，现有的表面是不均匀的、连续的，薄膜内部表面可能会有针孔、杂质、晶格缺陷和分子吸附，因此实际上很难严格定义和准确测量薄膜的厚度。膜厚的定义应根据测量方法和目的来确定。
根据经典模型，物质的表面不是抽象的几何概念，而是物理概念，由刚性球体的原子(分子)紧密排列而成。
形状膜厚:dT是最接近视觉形态的膜厚，通常以um为单位。DT只与表面原子(分子)有关，包含薄膜内部结构的影响；
质量膜厚:dM反映膜中所含物质的量，通常以μg/cm2为单位，消除了膜内部结构的影响(如缺陷、针孔、变形等)。)；
物理膜厚:差压在实际应用中很有用，易于测量。与薄膜的内外结构没有直接关系，主要取决于薄膜的性质(如电阻率、透光率等)。