应用背景

相信大家都有所了解，半导体制造厂商对供电有着极高的要求，特别是对于电力供应品质要求更高的晶圆相关产业，一旦发生电压瞬降，不仅对敏感的微电脑自动控制设备造成不可预期的伤害，也会使制程中断，而产生极大的损失。为了能保护敏感的设备能够免于电压瞬降的危害，SEMI F47标准规定了半导体制程设备对电压瞬降的耐受等级，要求对通常发生在交流电网中的电压骤降具有“免疫力”。

何谓SEMI F47电压瞬降测试？

电压瞬降通常是指负载端电压值降到额定电压值的90%以下，并持续0.5~60个周期，而SEMI F47是半导体制程设备电压暂降抗扰度规范。在SEMI F47-0706中，以50Hz为例，电压为50%标称值时为10周、电压为70%标称值时为25周、电压为80%标称值时为50周。一些晶圆厂会要求更高等级的耐受，相较F47-0200增加电压瞬降的耐受时间或强度，在电压为0%标称值时为1周，电压为80%标称值时为500周。

SEMI F47法规测试

三相输出，其中一相1个周期50Hz(20ms)的瞬降(0V)。通常大家可能会想到用List功能来编辑此波形，这是可以的，然而对于非整数周期，像是60Hz（16.7ms），计算每个单步的持续时间就相对复杂。此时我们可以考虑用突波/陷波功能来轻松实现。

测试方案介绍

艾德克斯的IT7800/IT7900/IT7900P系列可编程交流电源提供突波/陷波的模拟功能，用户可以根据需求在输出的波形基础上加上突波/陷波来模拟电路系统中电压的异常波动，而且突波/陷波可以叠加在任意基础波形上，设置如下：

实测波形如下：

可以看到A相跌落到0，持续时间1个周期，每5个周期出现一次。

IT7800大功率可编程交流电源、IT7900/P回馈式电网模拟器在3U的有限空间里面，提供了高达15kVA的功率输出。单个机柜功率可达165kVA，可扩展至960kVA。同时相电压输出达350V，具有AC/DC/AC+DC/DC+AC四种输出模式，单相，三相及反相等灵活输出能力。适用于新能源、轨道交通、半导体及科研院校等多个领域的研发、生产、质检阶段。IT7900电网模拟器还具有孤岛保护测试功能，可用于并网逆变器、储能PCS测试；IT7900P除了可以作为电网模拟器和全四象限功率放大器使用，同时也是一台回馈式的交/直流电子负载。