基本介绍

概伦FS-Pro半导体参数分析仪是一款功能全面、配置灵活的半导体器件电学特性分析设备，在一个系统中实现了电流电压（IV）测试、电容电压（CV）测试、脉冲式IV测试、高速时域信号采集和低频噪声测试能力，其强大而全面的测试分析能力可极大地加速半导体器件与工艺的研发评估进程。

产品特点

●一体化测试 FS-ProTM集成直流IV测试、脉冲式IV测试、瞬态时域测试、电容测试和低频噪声 (1/f 噪声) 测试能力于单台仪器中。

●超快速 FS-ProTM引入独特的测试加速技术，在保持精度的同时大幅度提升测试速度，并且支持并行测试，极大提升了测试效率，轻松应对高密度生产测试。

●模块化架构 FS-ProTM支持模块化架构，在保持紧凑机身的同时又可依照需求扩展。

●操作便捷 内置测量控制软件LabExpressTM拥有直观的用户图形界面，仅需点击几下鼠标就可以完成强大的测试分析功能。专业版软件还可以支持多种探针台矩阵开关等设备，轻松完成晶圆级数据的自动测试任务，更针对半导体制造提供了完善的解决方案。

应用领域

? MOSFET与BJT晶体管

? 光子检测器件

? 二极管与PN结

? 器件可靠性测试

? 器件噪声特性分析

? 半导体器件特性分析与建模

? 先进工艺节点下的产线测试

? III-V族化合物

? 分子与纳米器件

? MEMS与传感器

? 非易失性存储器与材料

产品组件表

?PX500 控制器 Core i5 CPU，4G内存，500G硬盘 包含LabExpressTM基础测试软件 最多可连接4个FS373模块化机箱（16路SMU通道）

?FS373 模块化机箱 每箱4路SMU通道

?PX600 一体化台式主机箱 Core i5 CPU，4G内存，500G硬盘 包含LabExpressTM基础测试软件 最多支持4路SMU通道

?FS380* 高精度源测量单元 ±200V，1A/3A，30fA精度，0.1fA灵敏度

?FS360* 中精度源测量单元 ±60V，3A/10A，300fA精度，1fA灵敏度

?FS336 宽带外置LCR模块 40Hz~5MHz, 直流偏置±40V, 直流分辨率0.1mV

?FS338 高速高精度外置LCR模块 20Hz~2MHz, 直流偏置±40V

?FS339 宽带高精度外置LCR模块 20Hz~10MHz, 直流偏置±40V

?FK401 高精度快速波形发生与测量套件 ±10V，10mA，100MS/s采样率

直流IV测试

输出/流入功率 ：20W/12W

电压范围： -200V – +200V

电流范围 ：-1A – +1A

脉冲IV测试

输出/流入功率：480W/480W

电压范围 ：-200V – +200V

电流范围 ：-3A – +3 A

脉冲宽度： 最小50us

电容测试

频率范围 ：10Hz - 10kHz

直流电压范围：-200V - 200V

直流电压分辨率： 0.1mV

直流电压精度 ：±(0.020%+2.5mV)

交流电压范围： 1mV – 2V

典型输出阻抗：50Ω

可测电容20fF (10kHz)

可测电容1mF (10Hz)

系统本底噪声（600mV电压档位，高速高精度模式）