全自动磁控离子溅射仪 型号:M31/GVC-2000库号:M374697

发布时间:2023/5/24 17:04:00

要参数

输入电压 AC220V±10%,50Hz

工作电压 DC600V

大功率(主机与机械泵) 450W

可选靶材 金、铂、银、铜、钛、铅等常用金属

真空泵 两级直联旋片式真空泵 1L/s

真空腔 约φ125×125mm

样品杯 φ64×1

整机尺寸(长×宽×高) 424×271×255(mm)

重量(主机) 11 kg

工作环境 温度 5~40℃,湿度<60%

存储环境 温度-10~60℃,湿度<80%

工作气体 Air / Ar

保护功能 过流、真空双保护

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