要参数

输入电压 AC220V±10%，50Hz

工作电压 DC600V

大功率（主机与机械泵） 450W

可选靶材 金、铂、银、铜、钛、铅等常用金属

真空泵 两级直联旋片式真空泵 1L/s

真空腔 约φ125×125mm

样品杯 φ64×1

整机尺寸（长×宽×高） 424×271×255（mm）

重量（主机） 11 kg

工作环境 温度 5～40℃，湿度<60%

存储环境 温度-10~60℃，湿度<80%

工作气体 Air / Ar

保护功能 过流、真空双保护