RT-9 型双电测四探针测试仪 采用了四探针双电测组合(亦称双位组合)测量新技术,将范德堡测

量方法推广应用到直线四探针,利用电流探针、电压探针的变换，在计算机控制进行两次电测量，把

到的在计算机中加与析，能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等

因素对测量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面的位置。由于

每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正，因此显著降低了几何因素影响，从而提高了测量

结果的准确度。所有这些，用目前大量使用的常规四探针测量方法所的仪器是无法实现的。

仪器采用了电子技术进行设计、装配。具有功能直观、测量取数快、高、测量范宽、

稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

RT-9 型双电测四探针软件测试系统 是一个运行在计算机拥有友好测试界面的用户程序。测

试程序在计算机与 RT-9 型四探针测试仪连接的状态，通过计算机的并口实现通讯。

测试程序控制四探针测试仪进行测量并实时两次组合模式的测试，把到的在计

算机中加以析，然后把测试以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对到的在电脑

中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把到的输出到 Excel 中，让用户对进行各种

析。

是一个运行在计算机拥有友好测试界面的用户程序。测

试程序在计算机与 RT-9 型四探针测试仪连接的状态，通过计算机的并口实现通讯。

测试程序控制四探针测试仪进行测量并实时两次组合模式的测试，把到的在计

算机中加以析，然后把测试以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对到的在电脑

中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把到的输出到 Excel 中，让用户对进行各种

析。

技 术 指  ：

测量范

电阻率：10 -5 ～10 5 ?.cm( 可扩展) ；

方块电阻：10 -4 ～10 6 ?/ □ ( 可扩展) ；

电导率：10 -5 ～10 5 s/cm ；

电阻：10 -5 ～10 5 ? ；

可测晶片厚度 ≤3mm

可测晶片直径

140mmX150mm(配 配 -2A 型测试台) ；

200mmX200mm(配 配 -2B 型测试台) ；

400mmX500mm(配 配 -2C 型测试台) ；

恒流源

电流量程为 1μA 、10μA 、100μA 、1mA 、10mA 、100mA 六档，各档电流

连续可调

数字电压表

量程及表示形式 000.00 ～199.99 mV ；辨力：10μV ；输入阻抗＞1000M? ；

：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、量程自动显示；

四探针基本指

间距：1±0.01mm ；针间缘电阻：≥1000M? ； 机械游移率：≤0.3 ％；

探针：碳化钨或高速钢 Ф0.5mm ；探针压力：5 ～16 牛顿( 总力) ；

模拟电阻测量相对误差

( 按 按 JJG508-87 进行)

0.01? 、0.1? 、1? 、10? 、100? 、1000? 、10000? ≤0.3 ％±1 字

差 整机测量大相对误差 ( 用硅样片:0.01-180?.cm 测试) ≤±4 ％

度 整机测量准不确定度 ≤4 ％

测试准

采用双电测测试准，通过 RT-9 双电测测试软件控制四探针测试仪进行测

量并实时两次组合模式的电压值，然后根据双电测测试原理公式计算

出电阻值。仪器主机也可兼容 RT-8 四探针测试软件实现单电测测试准，

两软件可同时使用。

软件功能

软件可记录、保存、打印每一点的测试，并统计析测试大值、

小值、平均值、大百变化、平均百变化、径向不均匀度、并将

生成直方图，也可把测试输出到 Excel 中，对进行各种析。软

件还可自动测量功能，根据样品电阻大小自动适合电流量程档测试。

计算机通讯接口 并口，高速并行。

准使用环境

温度：23±2 ℃；

相对湿度：≤65 ％；

无高频干扰；

无强光直射；