双电测四探针测试仪 型号:TZ24-RTS-9库号:M407314

发布时间:2023/2/9 11:58:00

RT-9 型双电测四探针测试仪 采用了四探针双电测组合(亦称双位组合)测量新技术,将范德堡测

量方法推广应用到直线四探针,利用电流探针、电压探针的变换,在计算机控制进行两次电测量,把

到的在计算机中加与析,能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等

因素对测量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面的位置。由于

每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正,因此显著降低了几何因素影响,从而提高了测量

结果的准确度。所有这些,用目前大量使用的常规四探针测量方法所的仪器是无法实现的。

仪器采用了电子技术进行设计、装配。具有功能直观、测量取数快、高、测量范宽、

稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

RT-9 型双电测四探针软件测试系统 是一个运行在计算机拥有友好测试界面的用户程序。测

试程序在计算机与 RT-9 型四探针测试仪连接的状态,通过计算机的并口实现通讯。

测试程序控制四探针测试仪进行测量并实时两次组合模式的测试,把到的在计

算机中加以析,然后把测试以表格,图形直观地记录、显示出来。用户可对到的在电脑

中保存或者打印以备日后参考和查看,还可以把到的输出到 Excel 中,让用户对进行各种

析。

是一个运行在计算机拥有友好测试界面的用户程序。测

试程序在计算机与 RT-9 型四探针测试仪连接的状态,通过计算机的并口实现通讯。

测试程序控制四探针测试仪进行测量并实时两次组合模式的测试,把到的在计

算机中加以析,然后把测试以表格,图形直观地记录、显示出来。用户可对到的在电脑

中保存或者打印以备日后参考和查看,还可以把到的输出到 Excel 中,让用户对进行各种

析。

技 术 指  :

测量范

电阻率:10 -5 ~10 5 ?.cm( 可扩展) ;

方块电阻:10 -4 ~10 6 ?/ □ ( 可扩展) ;

电导率:10 -5 ~10 5 s/cm ;

电阻:10 -5 ~10 5 ? ;

可测晶片厚度 ≤3mm

可测晶片直径

140mmX150mm(配 配 -2A 型测试台) ;

200mmX200mm(配 配 -2B 型测试台) ;

400mmX500mm(配 配 -2C 型测试台) ;

恒流源

电流量程为 1μA 、10μA 、100μA 、1mA 、10mA 、100mA 六档,各档电流

连续可调

数字电压表

量程及表示形式 000.00 ~199.99 mV ;辨力:10μV ;输入阻抗>1000M? ;

:±0.1% ;显示:四位半红色发光管数字显示;极性、量程自动显示;

四探针基本指

间距:1±0.01mm ;针间缘电阻:≥1000M? ; 机械游移率:≤0.3 %;

探针:碳化钨或高速钢 Ф0.5mm ;探针压力:5 ~16 牛顿( 总力) ;

模拟电阻测量相对误差

( 按 按 JJG508-87 进行)

0.01? 、0.1? 、1? 、10? 、100? 、1000? 、10000? ≤0.3 %±1 字

差 整机测量大相对误差 ( 用硅样片:0.01-180?.cm 测试) ≤±4 %

度 整机测量准不确定度 ≤4 %

测试准

采用双电测测试准,通过 RT-9 双电测测试软件控制四探针测试仪进行测

量并实时两次组合模式的电压值,然后根据双电测测试原理公式计算

出电阻值。仪器主机也可兼容 RT-8 四探针测试软件实现单电测测试准,

两软件可同时使用。

软件功能

软件可记录、保存、打印每一点的测试,并统计析测试大值、

小值、平均值、大百变化、平均百变化、径向不均匀度、并将

生成直方图,也可把测试输出到 Excel 中,对进行各种析。软

件还可自动测量功能,根据样品电阻大小自动适合电流量程档测试。

计算机通讯接口 并口,高速并行。

准使用环境

温度:23±2 ℃;

相对湿度:≤65 %;

无高频干扰;

无强光直射;

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