表面粒子计数器
表面粒子计数器是专门用于检测固体表面（如洁净室台面、设备表面、包装材料、晶圆等）上附着尘埃粒子数量和粒径分布的精密仪器。
工作原理
1.采样方式：
擦拭法：最常用。使用特制的无菌擦拭布（通常含异丙醇等溶剂），在指定面积（如100cm2或25cm2）内以“S”形路径擦拭表面，将表面粒子转移到擦拭布上。随后将擦拭布放入计数器的专用进样口，仪器内部气流将擦拭布上的粒子吹散并吸入光散射室进行检测。
粘取法：使用粘性胶带粘取表面粒子，然后放入仪器分析。
直接接触扫描：部分高端仪器带有扫描探头，可直接在表面移动扫描（较少见，多用于在线监测）。
2.检测技术：
激光光散射原理：与空气粒子计数器类似，仪器发射激光束照射被气流带入的粒子，粒子散射的光强与粒子粒径成正比。光电探测器接收散射光信号，将其转换为电脉冲，经处理后统计粒子数量并按粒径分类。
粒径范围：通常可检测0.3μm,0.5μm,1.0μm,3.0μm,5.0μm等通道（符合ISO 14644-1标准）。
操作流程
1.准备：佩戴洁净手套，准备无菌擦拭棒/布和专用溶剂。
2.校准：开机预热，确认流量正常，必要时进行零计数校准。
3.采样：
划定采样区域（如10cm x 10cm）。
按标准手法（如“S”形或单向）用力均匀擦拭。
将擦拭布折叠放入专用采样盒或直接插入仪器进样口。
4.测量：启动仪器，设定采样体积（通常为1分钟或固定流量），等待结果。
5.记录：保存数据，生成报告，对比限值（Limit）。
选型建议
1.流量精度：表面测试对采样体积要求严格，需选择流量稳定性高的仪器（如±2%以内）。
2.粒径通道：根据行业标准选择（通常至少包含0.5μm和5.0μm通道）。
3.便携性：考虑到现场测试需求，手持式、电池供电且重量轻的设备更受欢迎。
4.软件功能：支持自动生成符合ISO/GMP标准的报告，具备数据存储和USB/蓝牙传输功能。
应用场景
1.制药行业：无菌灌装线、隔离器、RABS（限制进入屏障系统）、洁净服表面的粒子监控。
2.半导体/微电子：晶圆制造车间、光刻机工作台、洁净手套箱表面的微粒控制。
3.医疗器械：植入物包装、手术器械清洗后的表面洁净度验证。
4.光学/精密仪器：镜头组装车间、精密加工台面的清洁度检查。