工作原理

基于库仑定律：同种电荷之间的作用力与它们之间的距离的平方成反比。利用这一原理，通过测量电荷之间的作用力和距离来计算电荷量，进而反映出电势差等电学参数。

利用静电平衡：当与带电体接触时，带电体会把电荷传给静电计金箔一部分，最终导致静电计金箔与带电导体静电平衡、电势相等。金箔的电势越大，转移到身上的电量就越大，从而偏转角也越大。

电流 - 电压转换：通过在高电阻两端施加已知电压，根据欧姆定律I=U/R，测量通过高电阻的微小电流，从而计算出电阻值。对于低电流测量，静电计通常具有高灵敏度的电流检测电路，能够将微弱的电流信号转换为可测量的电压信号。

性能特点

高输入阻抗：如吉时利 6517B 静电计具有 200TΩ 输入阻抗，确保在测量高电阻和低电流时，从被测电路中吸取的电流极小，不会对被测电路产生明显影响，从而保证测量的准确性。

低电流测量灵敏度：可以测量低至飞安（fA）甚至亚飞安（aA）级别的电流。例如，吉时利 6430 型亚 fA 远程源表仪器能够以 1aA 的灵敏度测量电流，是德科技 B2987B 静电计具有 0.01fA 的分辨率。

内置电压源：许多高电阻 / 低电流静电计配备了内置的电压源，可提供稳定的电压输出，用于给被测高电阻施加电压，以便进行电阻测量。如吉时利 6517B 内置 ±1kV 电压源，并提供扫描功能2。

高精度和高分辨率：通常具有高精度的测量能力和高分辨率的显示。

应用场景

材料科学研究：用于测量高电阻率材料如绝缘体、半导体、聚合物等的体积电阻率和表面电阻率，研究材料的电性能和导电机制。

电子元器件测试：在半导体器件制造过程中，测量半导体材料、集成电路、晶体管等的漏电流、绝缘电阻等参数，进行质量控制和故障诊断。

光学实验：在光电效应实验、光电器件性能测试中，测量光生电流等微弱电流信号，研究光与物质的相互作用。

纳米技术领域：用于测量纳米线、纳米管等纳米材料的电学特性，了解纳米结构的导电性和电子输运性质。

电化学研究：测量电池、超级电容器等电化学器件的充放电电流、漏电流，以及电极材料的电阻等参数，评估电化学性能。