X荧光微区镀层厚度测厚仪

X荧光微区镀层厚度测厚仪通过自动化的X轴Y轴Z轴的三维移动，双激光定位和 bao hu 系统，man zu 半导体、芯片及PCB等行业的非接触微区镀层厚度测试xu求。

采用大窗口探测器，能 jing 准地解析每个元素的特征信号，针对复杂底材以及多层复杂镀层，同样可以轻松测试。

搭配 da 功率X光管，能较好的保障信号输出和激发的 wen ding 性，减少仪器故障率。

Gao jing 度 zi 动化的X、Y、Z轴的三维联动，geng jing 准快速地完成对微小异型(如弧形、拱形、螺纹、球面等)测试点的 ding 位。

X荧光微区镀层厚度测厚仪技术参数

尺寸规格

设计形式：台式仪器，测量盖向上开启

测量方向： 从上至下

仪器重量： 60kg

外型尺寸：(mm) 485(W)×588(D)×505(H)

样品室尺寸：(mm) 430(W)×400(D)×140(H)

X射线源

X射线管： 微焦斑W靶射线管

X射线管高压、电流：  jin 口大功率高压单元

准直器(孔径) ：可选配0.1*0.3mm,φ0.2mm,φ0.3mm,φ0.5mm,φ0.1mm 还可按要求 定制其它孔径

 X射线检测

 探测器： 大窗口探测器

分析方法： FP与EC法兼容能量色散X荧光分析方法

元素检测 fan围： 13Al(铝)~92U(铀),可同时分析24个元素，五层以上镀层

检出限 ：金属镀层分析薄度可0.0025μm

厚度fan围 ：分析镀层厚度一般在0~120μm以内(每种材料有所不同)

厚度标准偏差： RSD<3%

含量测试 fan 围： 0.1%~99.9%

检测时间： 5-40秒

样品观测配置

样品照明 ：LED灯，上方垂直环绕照射(可调节亮度)

样品观察对焦： 高分辨率彩色CCD变焦工业摄像头，沿初级X射线光束方向观察测量位置，带有经过校正的刻度和测量点指示的十字线，手动/自动对焦

倍率： 外激光点用于辅助 jing 准放置样品，高度激光调节配合变焦摄像头对焦，图像可放大倍数20x-160x,实现微小样品清晰 ding 位

电动X/Y/Z高 jing 度移动平台

设计： 可编程电动X/Y/Z平台

样品移动平台： 全自动高jing度多点测试XY移动平台

Z轴升降平台升降fan围 ：0~140mm

安 quan 防护

操作环境温湿度： 15℃~30℃,湿度≤70%

工作电源： 交流220V±5V,建议配置交流净化wen压电源

安 quan 性： 双重安 quan 防护设施：防撞激光检测器与样品室门开闭传感器；待机无辐射，工作时辐射水平远 di于 guo 际安 quan标准，配软件连动装置

X荧光微区镀层厚度测厚仪应用方向

通过自动化的X轴Y轴Z轴的三维移动，双激光 ding 位和 bao hu 系统，man zu 半导体、芯片及PCB等行业的非接触微区镀层厚度测试xu求。

X荧光微区镀层厚度测厚仪售后服务

?仪器的品质bao zhneg

天瑞仪器公司 bao zheng 所供货品为天瑞仪器公司生产的新品,品质优良，符合我方相关样本说明书的技术指标参数。

1、一对一的用户培训

2、定期召开的行业大会

?仪器的安装调试

天瑞仪器公司将在到货后双方约定的时间内尽快响应， bao zheng 质量的完成仪器的免费安装、调试和培训指导。

?仪器的保修期

仪器的免费保修期为安装调试验收合格后，双方签订验收调试报告开始计一年。保修期内，对于非人为造成的仪器故障实行免费维修。

?仪器的维修响应

收到贵方的维修申请后，天瑞仪器公司将以 zui 快的响应速度（一般不超过三个工作日）到达贵公司对仪器进行维修。

?技术培训与支持

安装时现场提供分析仪器的硬件、软件操作培训，使操作人员能够掌握相关仪器的使用和日常维护。