在气体质量流量的测量和控制领域具备独特的 技术专长，长期以来立志为客户提供卓越及稳 定的气体测控技术和整体解决方案。为例如半 导体、太阳能光伏、汽车工业、新能源、医疗 设备、环境监测，生物化学和生命科学等领域 的客户提供完备的定制化服务，满足其对于精 密可靠的气体测控及工艺管理的需求，以适应 快速迭代的终端应用和持续提升的客户需求。 核心团队拥有数十年的技术背景，对产业的需 求与技术有深度认知，并具有丰富的客户服务 经验。 秉承

量程：0-5000SLPM

精度：1%RDG

可控范围：50：1（100：1）

漏率 ：  1*10-9Pa.m3/sec(He) Metal：  1*10-11Pa.m3/sec(He)