微型气体质量流量计LR99-HJFS5-YTK-M库号D408484   

微型气体质量流量计LR99-HJFS5-YTK-M库号D408484   

微型气体质量流量计LR99-HJFS5-YTK-M库号D408484   

微型气体质量流量计LR99-HJFS5-YTK-M库号D408484   

微型气体质量流量计是为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。

这一系列的传感器均采用微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用

于各类清洁气体。的封装技术使之可用于各类管径，成本低，易安装，不需要

温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。

产品特点

★ 采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片，传感器具有高精度，高灵敏度，抗

干扰性强等特点。

★ 传感器的零点稳定。

★ 量程范围内精度高，重复性好。

★ 标准机械接口，安装方便。

★ RS485通讯输出，标准MODBUS RTU协议。

★ 采用LCD显示瞬时流量和累计流量，清晰直观，读数方便。

★ 可以选配4~20mA标准电流信号输出和脉冲输出。

技术参数工作电源 DC24V/2.5W 精度(%) ±(1.5+0.2FS)

介质温度 -10~55℃ 湿度 <95%RH(无结霜，无结冰)

工作压力 ≤1.0MPa 显示 瞬时流量，累计流量

输出方式 4-20mA 通讯方式 RS485(Modbus Rtu协议)

机械连接 G3/8内螺纹（DN10）

BSPT3/8内螺纹（DN10）

G1/2内螺纹（DN15）

BSPT1/2内螺纹（DN15）

G3/4内螺纹（DN20）

BSPT1/2内螺纹（DN20）

G1内螺纹（DN25）

响应时间

(ms)

50-1000

备注：以上数据为在20℃，101.32kPa,干燥空气下测得小可测流量：0.3NL/min

大可测流量：800NL/min

微型气体质量流量计是为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。

这一系列的传感器均采用微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用

于各类清洁气体。的封装技术使之可用于各类管径，成本低，易安装，不需要

温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。

产品特点

★ 采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片，传感器具有高精度，高灵敏度，抗

干扰性强等特点。

★ 传感器的零点稳定。

★ 量程范围内精度高，重复性好。

★ 标准机械接口，安装方便。

★ RS485通讯输出，标准MODBUS RTU协议。

★ 采用LCD显示瞬时流量和累计流量，清晰直观，读数方便。

★ 可以选配4~20mA标准电流信号输出和脉冲输出。

技术参数工作电源 DC24V/2.5W 精度(%) ±(1.5+0.2FS)

介质温度 -10~55℃ 湿度 <95%RH(无结霜，无结冰)

工作压力 ≤1.0MPa 显示 瞬时流量，累计流量

输出方式 4-20mA 通讯方式 RS485(Modbus Rtu协议)

机械连接 G3/8内螺纹（DN10）

BSPT3/8内螺纹（DN10）

G1/2内螺纹（DN15）

BSPT1/2内螺纹（DN15）

G3/4内螺纹（DN20）

BSPT1/2内螺纹（DN20）

G1内螺纹（DN25）

响应时间

(ms)

50-1000

备注：以上数据为在20℃，101.32kPa,干燥空气下测得小可测流量：0.3NL/min

大可测流量：800NL/min