Sinton WCT-120:硅片寿命测试工具

简介：

硅片测试仪器提供了对载流子复合寿命进行校准分析的现有技术。完全遵从SEMI标准 PV-13。WCT-120 是放置在桌面上的硅片寿命测量系统，适用于器件研究和工业过程控制，价格实惠。WCT-120MX适用于测试230 mm的大硅片。

WCT-120:硅片寿命测试工具产品概述

WCT-120和WCT-120MX 仪器展示了我们独特的测量和分析技术，包括 sinton Instruments公司在 1994年开发的遵从 SEMI标准的准稳态光电导(QSSPC)寿命测量方法。

WCT-120仪器使用QSSPC和瞬态光电导衰减技术，可以测量10ns到10 ms+范围的硅片寿命。QSSPC 技术适用于监测多晶硅片、掺杂扩散及低寿命样品。瞬态光电导衰减技术适用于对高寿命样品的工艺进行逐步监控。

WCT-120寿命测试也会给出隐含开路电压(随光照强度变化的)曲线，相当于在电池工艺的每个阶段都能给出一条I-V曲线。

WCT-120:硅片寿命测试工具主要应用：

对制造工艺进行逐步监控和优化。

其他应用:

l 监测初始材料质量。

l 在硅片加工过程中检测重金属杂质污染。

l 评估表面钝化和发射极掺杂扩散。

l 使用隐含I-V测试，估算加工过程引起的并联电阻。

Sinton Instruments 的分析会给出每张硅片的校准的载流子注入水平，所以可以认为寿命数据在物理意义上是准确的。每次测试都会显示和记录用户所关注的特定参数。