内圆切片机 型号:OC911-QP-301D
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产品属性
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内圆切片机 型号:OC911-QP-301D
主要技术指标:
切割晶圆尺寸:<¢100mm
刀片规格:φ422mm×φ152mm ×0.15mm
切割晶棒长度:350mm
切割进给速度:1~99mm/min
切割返回速度:1~999mm/min
送料进给步距偏差:±0.007mm (按1mm当量进给)
片厚设定范围:0.01~40.00mm晶向调节
内圆切片机 型号:OC911-QP-301D
水平方向(X)±7o(分辩率2')
垂直方向(Y)±7°(分辩率2')
功耗:2.5KW,~380V±38V,50HZ±1HZ
空气源:0.4~0.5MPa
触摸屏:5.7英寸
外形尺寸:1100mm×660mm×2230mm
重量:1100kg
可选方案:
●¢422mm规格加深型刀盘配置方案,使片厚设定范围可达58.00mm(QP-301T型)。
●¢457mm规格刀盘配置方案,使切割晶棒直径可达¢105mm(QP-401型)。
内圆切片机 型号:OC911-QP-301D
内圆切片机 型号:OC911-QP-301D
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5.7英寸
1100mm×660mm×2230mm