GKG-G9项目基板处理基板尺寸（XY) 450X340mm最小基板尺寸5050mm基板厚度尺寸0.4~6mm基板重量3kg基板边缘间隙2.5mm过板高度15mm传输高度90040mm传送速度分段控制，速度1500mm/s(Max)传输方式一段式传输导轨基板夹持自动伸缩式上压片、柔性夹边、真空吸附功能.