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        AFM探针基本都是由MEMS技术加工 Si 或者 Si3N4来制备. 探针针尖半径一般为10到几十 nm。微悬臂通常由一个一般100~500μm长和大约500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。典型的硅微悬臂大约100μm长、10μm宽、数微米厚。

利用探针与样品之间各种不同的相互作用的力而开发了各种不同应用域的显微镜，如AFM(范德华力)，静电力显微镜EFM(静电力)磁力显微镜MFM(静磁力)侧向力显微镜LFM(探针侧向偏转力)等， 因此有对应不同种类显微镜的相应探针。

原子力显微镜的探针主要有以下几种:

(1)、 非接触/轻敲模式针尖以及接触模式探针:常用的产品，分辨率高，使用寿命一般。使用过程中探针不断磨损，分辨率很容易下降。主要应用与表面形貌观察。

(2)、 导电探针:通过对普通探针镀20-40纳米厚的Pt(以及别的提高镀层结合力的金属，如Au、Cr、Ti和Pt与Ir的合金等)得到。导电探针应用于EFM，KFM，SCM等。导电探针分辨率比tapping和contact模式的探针差，使用时导电镀层容易脱落，导电性难以长期保持。导电针尖的新产品有碳纳米管针尖，金刚石镀层针尖，全金刚石针尖，全金属丝针尖，这些新技术克服了普通导电针尖的短寿命和分辨率不高的缺点。

(3)、磁性探针:应用于MFM，通过在普通tapping和contact模式的探针上镀Co、Fe等铁磁性层制备，分辨率比普通探针差，使用时导电镀层容易脱落。

(4)、大长径比探针:大长径比针尖是为测量深的沟槽以及近似铅垂的侧面而设计生产的。特点:不太常用的产品，分辨率很高，使用寿命一般。技术参数:针尖高度> 9μm;长径比5:1;针尖半径< 10 nm。

(5)、类金刚石碳AFM探针/全金刚石探针:一种是在硅探针的针尖部分上加一层类金刚石碳膜，另外一种是全金刚石材料制备(价格很高)。这两种金刚石碳探针具有很大的耐久性，减少了针尖的磨损从而增加了使用寿命。

还有生物探针(分子功能化)，力调制探针，压痕仪探针

        Park四面体探针测微悬臂的特点，在于探针位于测微悬臂的Z端，由此易于清楚确认探针与样品的位置关系，从而迅速而准确地对准测定位置。为满足客户多种特殊需求，此产品备有标准型、铂膜型和四面刃型三种类型的硅探针可供选择。
 

        OMCL-AC240TS 10M
        微软型(Medium-soft Silicon Cantilever)
        适用于测量易受损(Soft)的样品
        在轻敲模式中拥有Z微小的弹性系数2 N/m的硅悬臂,适合用来观测局部解剖的表面与柔软样品的黏弹性;

        Medium-soft Silicon Cantilever

        Spring constant of 2 N/m (norminal) is smallest of silicon cantilevers, suitable for observing surface ography ａnd viscoelasticity of soft samples.(2n/m,70khz)

        AFM的测量模式：

※接触式(Contact mode)：

  探针与材料表面间的距离为(2~3nm)。在扫描时，针尖与样品表面轻轻接触，产品微弱的排斥力使探针偏移，从而使得样品表面形貌的图像。

※非接触式(Non-contact mode)：

  探针与材料表面总维持着一定的距离(低于20nm)。非接触式为轻敲式的衍生，一样是利用探针跳动来扫描，但是探针始终都不接触表面。  

※轻敲式(Tapping mode又称 AC mode)：

  介于接触式和非接触式之间，探针与材料表面间的距离为(5nm)。以探针震荡方式，探针在试片上跳动，当探针震荡至波谷时微接触样品。

        Park探针选用小贴士：

        AC160TS:Tapping Mode,用於較硬的sample,適用半導體材料,金屬材料,Polymer,DVD…

        AC240TS:Tapping Mode,用於較軟的sample,適用生命科學:DNA,細胞,薄膜,蛋白質…