KLA探针式表面轮廓仪

表面轮廓仪简介：

KLA是全球半导体在线检测设备市场的供应商，在半导体、数据存储、MEMS、 太阳能、光电子以及其他领域中有着极高的市占率。Alpha-Step" 探针式轮廓仪支持合阶高度和粗度的2D及3D(D-600)轮廓扫描，以及翘曲度和应力的2D测量。创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。

表面轮廓仪优势：

探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进JQ测量。通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。

-500/D-600提供1200 m垂直量测距离，亚埃分辨率以及.03- 15毫克的针压控制范用。具有广泛的应用范围，包括从纳米级到毫米级的台阶高度，高分辨率的粗糙度，软材料和薄膜应力等，使其能够服务于研发和生产环境中的各个行业。

D-500配有140毫米的手动载台。D-600配有200毫米的自动载台,有手动deskew对齐和多达1000个量测位置的可编写序列软件功能。

台阶高度重复性

亚埃分辨率及光学杠杆传感器具有低重量低噪声的特点。在1微米台阶的高度重复性为5埃。

举例:

用户界面控件可以自动聚焦在样品表面单独控制光强和相机的亮度、对比度以及高达4倍的数字变焦。

数据采集设置和系统硬件控制显示在同-界面，以快速进行样品定位和测量直接保存原始数据，数据分析无需重新测量

探针扫描:D-500:140mm的扫描载台支持长达30 mm的单次量测和80mm的拼接功能。D-600:200mm的扫描载台支持长达55 mm的单次量测和200mm的拼接功能。D-500/D-600垂直测量范围是1200 um，针压可低至0.03 mg，可以量测包括薄膜、软性材料、高台阶、弯曲度和应力等多种材料及应用。

超高清镜头:D-500/D-600配备先进的光学系统，包括一个高分辨率5MP彩色相机4倍数码变焦和增强的照明控制。

梯形校正:侧视镜头下的样品画面会出现一定程度的扭曲。全新梯形校正功能，可以自动去除扭曲效应。

圆修正:圆弧修正功能可自动修正探针在测量过程中的圆弧运动，极大提高了侧壁倾角和台阶宽度量测的JQ度。

3D扫描(D-600)和2D应力(D-500/600选配):三维扫描详细地展现样品表面的台阶高度，纹理，和样品的形貌。使用应力卡盘将样品支撑在中性位置测量样品翘曲。然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力.