JKZC-DN系列增强型探针台
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JKZC-DN系列增强型探针台

|产品概要

JKZC-DN系列探针台是我司一款增强型晶圆测试探针台,可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台釆 用高刚性显微镜龙门结构,显微镜可X-Y-Z方向进行精密位移调节。卡盘具备上下调节功能,可以使探针与 样品快速分离,提高测试效率,在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用,配合对应的仪器仪表,可以完 成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆LED/LCD/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试。

|技术特点

?显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降,保证高质量的光学成像;

?卡盘同时具备快速和微调升降,便于样品和探针快速分离,也可以加载探针卡;

?可升级性强,可升级卡盘360度快速移动,可升级光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。

JKZC-DN系列增强型探针台.jpg

详细参数

产品型号

技术参数

JKZC-DN4

JKZC-DN6

JKZC-DN8

JKZC-DN12


探针台台体

主体材料

航空铝

航空铝

航空铝

航空铝

整机尺寸mm)

580L*480W*620H

630L*530W*620H

700L*580W*620H

800L*650W*620H


重量

50kg

60kg

80kg

120kg


自适应减震系统

自适应减震底座设计,可有效过滤环境中的震动源干扰





卡盘大小

4",360度转动,可微调

6",360度转动,可微调

8",360度转动,可微调

12",360度转动,可微调


卡盘XY5S行程

4"*4",精度 10um

6"*6",精度 lOurm

8"* 8",精度

12"*12,精度 10um


卡盘Z轴行程

快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度1微米





卡盘材质

不锈钢镀金,具备更小的接触电阻





卡盘吸附方式

真空吸附,可选择环形吸附或者多孔吸附(适用于薄片)





背电极测试功能

卡盘镀金,电学独立悬空,带2个4mm香蕉头插口,具备背电极功能





其它功能

带标准接地保护,可升级,ChJKZC-UCk360度快速移动(选件)





针座平台

材质

U型平台,Q235镀第带接地端子




大小

最多可放置4?6个探针座 最多可放置8~10个探针座





■mkZB系统

显微镜类型

体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD成像系统




倍率范围

16X~200X/40X~280X/20X~4000X





显微镜行程

具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2英寸,精度lum





CCD成像系统

2k或者4K相机,帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能





探针座

种类

丝杆型/微分头型/经济型探针座




X-Y-Z行程

12.5mm-12.5mm-12.5mm





机械精度

0.5um/0.7um/2um





夹具

漏电精度 接口形式

同轴夹具10pA/三轴夹具lOOfA




同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口






其它

选件

ChJKZC-UCk360度快速移动/屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率




电力需求

220V/50HZ






标准探针台/JKZC-DH系列综合型探针台