透明晶圆缺陷扫描Lumina AT1

简介：

Lumina AT1可以在4分钟内完成150毫米晶圆的扫描，对于基底上下表面的颗粒、凸起、凹陷、划痕、内含物等缺陷均可一次性成像。在基底，如玻璃，化合物半导体如氮化镓、砷化镓、碳化硅等样品上有独特的优势。也可用于薄膜涂层的成像厚度变化的全表面扫描。

样品300 x 300 mm。

厂商简介

Lumina Instruments，总部位于美国加利福尼亚州圣何塞，公司创始人在透明、半透明和不透明基板全表面缺陷检测创新了更快速准确的方法，因此创建了革命性的仪器品牌lumina.

技术创新

将样片放入AT1系统中，3~5分钟即可完成扫描。

收集的数据将被分析，图像和缺陷图将由LuminaSoft软件生成。
感兴趣的缺陷可在扫描电子显微镜（SEM）、椭偏仪、显微镜等上进行进一步分析。

将样品放入系统

直径为30微米的绿色激光以50毫米的直线运动，反射光和散射光由四个探测器捕获。

四通道检测

AT1有四个检测通道。它们同时运行以生成四个独立的图像。每个通道有助于检测和分类某些缺陷。

极化：薄膜缺陷、污渍反射率：划痕、内应力*、玻璃内的条纹*
坡度：划痕、凹坑、凸起、表面形貌
暗场：纳米颗粒、包裹体

Lumian AT1和AT1-Auto:AT1采取的样品的尺寸为300mm，AT1-Auto采取样品的尺寸为200mm。光斑的大小都在30μm。灵敏度(PSLon玻璃)在150nm;扫描的出结果的时间在4/7/15.5min。

AT应用：

l 非透明材质表面缺陷的检测。

l MOCVD外延生长成膜缺陷管控

l PR膜厚均一性评价

l Clean制程清洗效果评价

l Wafer在CMP后表面缺陷分析

l 多个应用领域，如ARVR、Glass、光掩模版蓝宝石、Si wafel等、