瑞士丹青Compact WLI白光干涉微观形貌及粗糙度仪是用于记录3D形貌光学测量技术，其分辨率高达纳米级。测量点平行采集和处理，大面积的高度信息可以在很短时间内采集。研究和质量管理过程中的典型应用有：物体表面的不同粗糙度特性（晶圆结构、镜面、玻璃、金属等）、确定高度变化以及曲面的精密测量（如微透镜等）。

微观形貌及粗糙度仪WLI白光干涉传感器特点：

◆ 直接3D测量

◆ 非常快速

◆ 高精度，分辨率0.1nm

◆ 2.5x~100x干涉镜头

◆ 50x以上干涉镜头用于高反射表面

◆ 集成拼接功能

◆ 测量范围400μm

◆ 适用于所有材料

◆ 高速压电陶瓷Z轴

◆ 2百万或5百万像素摄像头(根据测量需求配置)

◆ Trimos提供基于WLI技术的先进解决方案并通过Trimos Nanoware测量软件对整个测量过程进行控制和分析。

◆ Trimos在本领域进行了广泛的研究并积累了丰富的经验，因而能提供高效、稳定、的分析算法。

Compact WLI技术参数：

微观形貌及粗糙度仪：测量技术 白光干涉

算法 垂直扫描结合相移

扫描器 精密压电陶瓷驱动，

闭环反馈电容控制精密压电陶瓷

扫描范围 400 μm

扫描速度 150 μm/s

系统软件 smartVIS 3D / Speedytec on GPU

分析软件 TrimosNanoware Analyse

测量阵列 1936 x 1216测量点

电源 100 to 240 VAC, 50/60 Hz

粗糙度仪

技术参数 WLI 2.5x WLI 5x WLI 10x WLI 20x WLI 50x WLI 100x

垂直分辨率 nm 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1

横向分辨率(X/Y) μm 4.81 4.81 1.2 0.9 0.66 0.52

垂直测量范围 μm 400 400 400 400 400 400

测量面积(XY) μm 4536 x3447 2268x1723 1134x861 567x430 226x172 113x86

放大倍数 2.5x 5x 10x 20x 50x 50x

工作距离 mm 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 3.4