质量流量控制器  型号:D07-11C

D07-11C是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以测量气体的质量流量。D07-11产品高耐压10MPa。
质量流量控制器  型号:D07-11C

质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行测量；质
量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行测量
和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药和
真空等多种领域的科研和中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备,
如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔
炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启
动、稳定、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便,
可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。
D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用
特点
　　? 高耐压性
　　? 橡胶密封、模拟电路的MFC
　　? 采用DB15型电插头，标准机械接头
　　? CE，兼容
质量流量控制器  型号:D07-11C

技术参数
类型：D07-11C
流量规格：( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
准确度：±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)
线性：±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)
重复精度：±0.2 %F.S
响应时间：电特性:10sec 气特性:≤4sec
大工作压力：10 MPa
气压降：-
工作压差范围：≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa
＞10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa
耐压：10 MPa
工作环境温度：5 ℃ ~ 45 ℃
输入输出信号：0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
电源：+15 V 50 mA，-15V 200 mA
重量：1.2kg